1 |
1
부반사경;상기 부반사경의 후면 측에 연결된 압전작동기;를 포함하며,전압 인가에 의해 발생되는 상기 압전작동기의 변위가 상기 부반사경에 전달되면서 상기 부반사경의 변위를 보상하며,상기 부반사경의 후면과 상기 압전작동기의 전단면 사이에는 부반사경 플렉셔(flexure)가 부착되며,상기 압전작동기의 후단면은 지지판에 부착되어 지지되며,상기 지지판의 후면 측에는 상기 지지판과 서로 동축인 슈미트판이 위치하며,우주환경에서 상기 슈미트판과 상기 지지판의 열팽창, 진동, 및 충격에 의한 손상을 방지하기 위해 상기 지지판과 상기 슈미트판 사이에는 슈미트판 플렉셔가 부착되며,상기 슈미트판과 부반사경은 서로 다른 열팽창 계수를 가지며, 상기 슈미트판 플렉셔는 상기 부반사경 플렉셔와 동일한 축상으로 배치되며,상기 부반사경 플렉셔는 상기 부반사경의 중심축을 중심으로 동일한 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
제1항에 있어서,상기 부반사경 플렉셔는 상기 압전작동기의 상대 변위에 의한 상기 부반사경 면의 파면오차(Wavefront Error)를 방지하는 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
4 |
4
제1항에 있어서,상기 압전작동기에는 스트레인 게이지(Strain Gauge)가 부착되는 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
5 |
5
제4항에 있어서,상기 스트레인 게이지에 의해 상기 압전작동기의 변위가 측정되는 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
6 |
6
제1항에 있어서,상기 압전작동기는 상기 부반사경의 중심축을 기준으로 서로 일정 각도 이격되어 복수 개 구성되는 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
7 |
7
제6항에 있어서,상기 압전작동기는 3개로 구성되며, 상기 부반사경에 대해 3축 운동을 수행하는 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
8 |
8
제3항에 있어서,상기 부반사경 플렉셔는 양단면과, 상기 양단면을 연결하는 축부를 포함하는 핀 형상인 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
9 |
9
제8항에 있어서,상기 부반사경 플렉셔의 양단면은 서로 동일한 형상으로 형성되며,상기 압전작동기의 단면 형상 및 크기와 동일한 단면 형상 및 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
10 |
10
제9항에 있어서,상기 압전작동기의 중심축은 상기 부반사경 플렉셔의 중심축과 서로 동축인 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
11 |
11
제9항에 있어서,상기 압전작동기의 중심축은 상기 부반사경의 후단면과 서로 수직 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
12 |
12
삭제
|
13 |
13
제1항에 있어서,상기 지지판은 상기 부반사경의 직경과 동일한 직경을 가지며, 동축이 되도록 위치하는 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
14 |
14
삭제
|
15 |
15
삭제
|
16 |
16
제1항에 있어서,상기 슈미트판 플렉셔는 상기 부반사경 플렉셔와 서로 동일한 형상인 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|
17 |
17
삭제
|
18 |
18
제1항에 있어서,상기 슈미트판은 경통의 후단을 폐쇄시키는 것을 특징으로 하는 디스페이스와 틸팅 보상이 가능한 3축 포커스 조절 장치
|