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박막 태양전지 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2019029087
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하부 구조체 상에 SnS 씨드층(seed layer)을 형성하는 제 1 단계; 상기 SnS 씨드층 상에 Sn층을 형성하는 제 2 단계; 및 상기 Sn층 및 상기 SnS 씨드층에 황화 열처리를 수행하여 상기 하부 구조체 상에 (040) 우선배향성을 가지는 SnS 흡수층을 구현하는 제 3 단계;를 포함하는, 박막 태양전지의 제조방법을 제공한다.
Int. CL H01L 31/0445 (2014.01.01) H01L 31/0392 (2006.01.01) H01L 31/0236 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01)
CPC H01L 31/0445(2013.01) H01L 31/0445(2013.01) H01L 31/0445(2013.01) H01L 31/0445(2013.01) H01L 31/0445(2013.01) H01L 31/0445(2013.01)
출원번호/일자 1020160014068 (2016.02.04)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1735494-0000 (2017.05.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170515) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전찬욱 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0121471-96
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0135064-99
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.10.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0132546-94
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0732305-36
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-1187099-62
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1187100-21
8 등록결정서
Decision to grant		 2017.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0297082-46
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.12.07 수리 (Accepted) 4-1-2020-5277862-17
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하부 구조체 상에 SnS 씨드층(seed layer)을 형성하는 제 1 단계;상기 SnS 씨드층 상에 Sn층을 형성하는 제 2 단계; 및상기 Sn층 및 상기 SnS 씨드층에 황화 열처리를 수행하여 상기 하부 구조체 상에 (040) 우선배향성을 가지는 SnS 흡수층을 구현하는 제 3 단계;를 포함하고,상기 SnS 씨드층은 상기 Sn층 보다 두께가 상대적으로 얇고,상기 SnS 씨드층은 50nm 내지 500nm의 두께를 가지고, 상기 제 3 단계에서, 상기 SnS 흡수층은 상기 SnS 씨드층으로부터 결정성장이 시작되어 형성되고, 또한 상기 Sn층과 상기 SnS 씨드층은 일체화되어 상기 SnS 흡수층을 형성하고,상기 제 3 단계에서 구현되는 상기 SnS 흡수층 내에서 SnS상의 비율은 SnS2상의 비율보다 더 높으며, SnS상의 비율은 Sn2S3상의 비율보다 더 높은, 박막 태양전지의 제조방법
2 2
삭제
3 3
하부 구조체 상에 SnS 씨드층(seed layer)을 형성하는 제 1 단계;상기 SnS 씨드층 상에 Sn층을 형성하는 제 2 단계; 및상기 Sn층 및 상기 SnS 씨드층에 황화 열처리를 수행하여 상기 하부 구조체 상에 (040) 우선배향성을 가지는 SnS 흡수층을 구현하는 제 3 단계;를 포함하고,상기 SnS 씨드층은 상기 Sn층 보다 두께가 상대적으로 얇고,상기 SnS 씨드층은 50nm 내지 500nm의 두께를 가지고, 상기 제 3 단계에서, 상기 SnS 흡수층은 상기 SnS 씨드층으로부터 결정성장이 시작되어 형성되고, 또한 상기 Sn층과 상기 SnS 씨드층은 일체화되어 상기 SnS 흡수층을 형성하고,상기 제 3 단계에서 구현되는 상기 SnS 흡수층은 SnS2상과 Sn2S3상이 이차상으로 존재하지 않고 순수한 SnS상만으로 이루어진, 박막 태양전지의 제조방법
4 4
삭제
5 5
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 하부 구조체의 최상부는 상기 SnS 씨드층과 접하는 Mo 후면전극층을 포함하는, 박막 태양전지의 제조방법
6 6
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 제 1 단계는 전자빔 증발법, 열증발법, 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)으로 상기 SnS 씨드층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제 3 단계는 250℃ 내지 350℃의 온도범위를 가지는 상기 황화 열처리를 수행하는 단계를 포함하는, 박막 태양전지의 제조방법
7 7
제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 제 2 단계와 상기 제 3 단계 사이에 상기 Sn층 상에 SnS 덮개층을 형성하는 단계;를 더 포함하고,상기 제 3 단계는 상기 SnS 덮개층, 상기 Sn층 및 상기 SnS 씨드층에 황화 열처리를 수행하여 상기 하부 구조체 상에 (040) 우선배향성을 가지는 SnS 흡수층을 구현하는 단계를 포함하는, 박막 태양전지의 제조방법
8 8
삭제
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 (재)한국연구재단(NRF) 영남대학교 교육인력양성사업/지역기초연구활성화 선택적 기체투과 물질을 이용한 셀렌화 급속열처리 양산용 장비 기술개발
2 지식경제부 영남대학교 산학협력단 지역혁신센터조성(RIC)사업 대경 태양전지 지역혁신센터(8차년도 교비대응)