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코어 금속 입자를 생성하는 코어 입자 생성부;상기 코어 금속 입자의 흐름에, 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분사하여, 하이브리드 액적을 생성하도록 마련된 액적 생성부;상기 액적 생성부에서 생성된 하이브리드 액적을 크기에 따라 분류하여, 소정 크기 범위 내의 하이브리드 액적을 배출시키도록 마련된 분류부; 및상기 분류부에서 배출된 상기 하이브리드 액적에 마이크로파를 인가하기 위한 마이크로파 가열부를 포함하며,상기 코어입자 생성부는, 소정 간격을 두고 이격 배치되는 한 쌍의 금속전극, 스파크 방전에 의해 국부적으로 상기 금속 전극 표면의 온도가 높아지면 금속 전극의 일부가 기화되고, 기화된 직후 응축된 에어로졸 금속입자인 코어 금속 입자를 상기 금속전극의 간극으로부터 발생시키는 방전부 및 상기 금속 전극에 전원을 인가하는 전원부를 포함하고,상기 액적 생성부의 하이브리드 액적은, 내부는 에어로졸 금속입자가 형성되고 외부는 금속이온과 환원제를 포함하는 용매가 액적을 형성하며,상기 분류부는, 크기에 따라 하이브리드 액적의 유동이 분류되는 서로 다른 방향의 복수 개의 미세유로를 포함하고, 상기 액적 생성부에서 생성된 다분산 크기의 분포를 갖는 하이브리드 액적이 미세유로 유입포트로 유입되어 원하는 크기의 액적만 선별되는 미세유로 주포트로 유출되어 상기 마이크로파 가열부로 유입되고, 분류부에서 선별되지 못한 하이브리드 액적은 부포트를 통해 배출되도록 마련되고,상기 마이크로파 가열부는, 마이크로파가 인가되는 유동 채널을 포함하고, 시스 가스 및 하이브리드 액적이 유동 채널 내를 통과하며, 마이크로파 주파수는 0
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제 1항에 있어서,상기 코어 금속 입자는 금(Au), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 은(Ag)을 포함한 전이금속(Transition Metals), 희토류 금속(Rare-Earth Metals), 다른 금속(Other Metals) 및 비금속(Non-Metals)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함하는 금속 복합체 입자 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 액적 생성부는,분무 또는 액적미립화(Atomization) 방식으로 상기 코어 금속 입자와 액체를 분무하는 것을 특징으로 하는 금속 복합체 입자 제조장치
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제 1 항에 있어서,상기 용매는 물, 알코올, 탄화수소, 산-염기 및 오일로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상을 포함하는 금속 복합체 입자 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 금속 전구체 물질은, 상기 코어 금속 입자와 다른 금속인 것을 특징으로 하는 금속 복합체 입자 제조장치
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제 1항에 있어서,상기 마이크로파 가열부는, 상기 유동 채널에는, 시스(Sheath)가스로서 공기(Air), 질소(N2), 수소(H2), 헬륨(He), 아르곤(Ar), 산소(O2) 및 이들의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상이 주입되는 것을 특징으로 하는 금속 복합체 입자 제조장치
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소정 간격을 두고 이격 배치되는 한 쌍의 금속전극, 스파크 방전에 의해 국부적으로 상기 금속 전극 표면의 온도가 높아지면 금속 전극의 일부가 기화되고, 기화된 직후 응축된 에어로졸 금속입자인 코어 금속 입자를 상기 금속전극의 간극으로부터 발생시키는 방전부 및 상기 금속 전극에 전원을 인가하는 전원부에 의해 코어 금속 입자를 생성하는 단계; 상기 코어 금속 입자의 흐름에 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분사하여, 내부는 에어로졸 금속입자가 형성되고 외부는 금속이온과 환원제를 포함하는 용매가 액적을 형성하는 하이브리드 액적을 생성하는 단계; 상기 하이브리드 액적을 크기에 따라 분류하여, 소정 크기 범위 내의 상기 하이브리드 액적을 배출시키도록 크기에 따라 하이브리드 액적의 유동이 분류되는 서로 다른 방향의 복수 개의 미세유로에서 액적 생성부에서 생성된 다분산 크기의 분포를 갖는 하이브리드 액적이 미세유로 유입포트로 유입되어 원하는 크기의 액적만 선별되는 미세유로 주포트로 유출되어 마이크로파 가열부로 유입되고, 분류부에서 선별되지 못한 하이브리드 액적은 부포트를 통해 배출되도록 마련된 분류부를 통과하는 단계; 및 상기 분류부에서 배출된 상기 하이브리드 액적에 시스 가스와 함께 유동 채널 내를 통과하며, 마이크로파 주파수는 0
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제 13항에 있어서,상기 하이브리드 액적을 생성하는 단계는,분무 또는 액적미립화(Atomization) 방식으로 상기 코어 금속 입자와 금속 전구체 물질을 포함하는 액체를 분무하여 생성하는 것을 특징으로 하는 금속 복합체 입자 제조방법
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