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광원으로부터의 광을 일부 반사 및 일부 투과하는 광분할기;상기 광의 경로와 수직인 위치에 배열되며, 상기 광분할기에서 반사된 광을 반사하는 기준거울;상기 광의 경로 상에 배열되며, 상기 광분할기를 투과한 광을 반사하는 측정대상거울; 상기 광분할기와 상기 기준거울 사이 또는 상기 광분할기와 상기 측정대상거울 사이에 배열되며, 파장에 따라 굴절률이 변하는 물질로 이루어진 분산판; 및상기 광의 경로와 수직인 위치에 배열되며, 상기 기준거울에서 반사되고 상기 광분할기에서 다시 투과된 광 및 상기 측정대상거울에서 반사되고 상기 광분할기에서 다시 반사된 광이 결합되어 광주파수별 간섭신호를 검출하는 분광기;를 포함하며,측정되는 광주파수별 위상은 비선형성분을 가지게 되며, 방향판별이 가능한 것을 특징으로 하는 분산판을 이용한 방향판별 분산간섭계
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제 1 항에 있어서,상기 기준거울 및 상기 측정대상거울은 고정되어 배열되는 것을 특징으로 하는 분산판을 이용한 방향판별 분산간섭계
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제 2 항에 있어서,상기 분산판은 유리 또는 용융실리카(fused silica)로 이루어진 것을 특징으로 하는 분산판을 이용한 방향판별 분산간섭계
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제 3 항에 있어서,상기 광원과 상기 광분할기 사이에 배열되며, 상기 광원으로부터의 광을 평행광으로 만드는 시준렌즈;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분산판을 이용한 방향판별 분산간섭계
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광의 경로 상에 배열되며 파장에 따라 굴절률이 변하는 물질로 이루어진 분산판을 포함하는 분산간섭계; 및상기 분산간섭계로부터 검출된 신호를 이용하여 거리 또는 두께를 측정하는 판단부;를 포함하며,상기 분산간섭계로부터 측정되는 광주파수별 위상은 비선형성분을 가지게 되며,상기 판단부는 상기 비선형성분 정보를 이용하여 방향성을 판별하여 거리 또는 두께를 측정하는 것을 특징으로 하는 분산간섭계를 이용한 측정시스템
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제 5 항에 있어서,상기 분산간섭계:는광원으로부터의 광을 일부 반사 및 일부 투과하는 광분할기;상기 광의 경로와 수직인 위치에 배열되며, 상기 광분할기에서 반사된 광을 반사하는 기준거울;상기 광의 경로 상에 배열되며, 상기 광분할기를 투과한 광을 반사하는 측정대상거울; 상기 광분할기와 상기 기준거울 사이 또는 상기 광분할기와 상기 측정대상거울 사이에 배열되며, 파장에 따라 굴절률이 변하는 물질로 이루어진 분산판; 및상기 광의 경로와 수직인 위치에 배열되며, 상기 기준거울에서 반사되고 상기 광분할기에서 다시 투과된 광 및 상기 측정대상거울에서 반사되고 상기 광분할기에서 다시 반사된 광이 결합되어 광주파수별 간섭신호를 검출하는 분광기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 분산간섭계를 이용한 측정시스템
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제 6 항에 있어서,상기 기준거울 및 상기 측정대상거울은 고정되어 배열되는 것을 특징으로 하는 분산간섭계를 이용한 측정시스템
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제 7 항에 있어서,상기 분산판은 유리 또는 용융실리카(fused silica)로 이루어진 것을 특징으로 하는 분산간섭계를 이용한 측정시스템
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제 8 항에 있어서,상기 분산간섭계는 상기 광원과 상기 광분할기 사이에 배열되며, 상기 광원으로부터의 광을 평행광으로 만드는 시준렌즈;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 분산간섭계를 이용한 측정시스템
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제 5 항에 있어서,상기 분산간섭계로부터 측정되는 광주파수별 위상은 하기 수학식으로 표현되는 비선형성을 갖는 것을 특징으로 하는 분산간섭계를 이용한 측정시스템
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