1 |
1
베이스 플레이트;상기 베이스 플레이트의 상부에 구비되며 측정 대상물의 무게에 따라 만곡되는 저강성 플레이트;상기 베이스 플레이트의 상부에 구비되며 상기 저강성 플레이트가 상기 베이스 플레이트의 상부에 이격되도록 지지하는 복수 개의 지지대;상기 저강성 플레이트와 지지대를 연결하며 상기 저강성 플레이트에 놓인 측정 대상물의 무게에 따라 진동하는 복수 개의 저강성 스프링; 및상기 저강성 플레이트 및 저강성 스프링의 진동주기를 측정하기 위한 적어도 하나 이상의 레이저 변위센서를 포함하되,상기 측정 대상물의 무게는 상기 진동주기를 통해 산출된 고유진동수를 통해 측정되는 것을 특징으로 하는 고유진동수를 이용한 정밀 무게측정장치
|
2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 베이스 플레이트의 상부에는 상기 저강성 플레이트가 연직방향으로 진동하도록 안내하기 위한 적어도 하나 이상의 가이드 빔이 구비되는 것을 특징으로 하는 고유진동수를 이용한 정밀 무게측정장치
|
3 |
3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 저강성 스프링은 의탄성 또는 초탄성의 형상기억합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고유진동수를 이용한 정밀 무게측정장치
|
4 |
4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 레이저 변위센서는 4개로 이루어지며, 각각 측정된 값의 평균값으로 상기 저강성 플레이트 및 저강성 스프링의 진동주기를 측정하는 것을 특징으로 하는 고유진동수를 이용한 정밀 무게측정장치
|
5 |
5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 저강성 플레이트의 하부 및 이와 대향되는 상기 베이스 플레이트의 상부에는 상기 저강성 스프링의 소성변형을 방지하기 위한 자석이 각각 구비되되, 상기 자석은 서로 척력을 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 고유진동수를 이용한 정밀 무게측정장치
|