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다이오드 레이저를 이용한 박막형 태양전지의 열처리 장치

  • 기술번호 : KST2019029444
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지용 박막을 균일하게 열처리하기 위해 다이오드 레이저에서 조사되는 빛의 범위를 넓히고 집광시킴으로써 공정시간을 단축시킬 수 있으면서 박막에 대한 열변형층을 최소화할 수 있을 뿐 아니라 박막의 변형이나 오염을 방지할 수 있는 다이오드 레이저를 이용한 박막 태양전지용 열처리 장치에 관한 것이다.본 발명은 박막이 형성된 태양전지(10)를 수용하기 위한 진공상태의 수용공간(110)이 형성된 챔버(100)와, 전류를 공급하기 위한 전류공급기(500)와 파이버(400)를 통해 연결되면서 상기 태양전지(10)의 박막으로 빛을 조사하여 상기 태양전지(10)의 박막을 열처리하기 위한 다이오드 레이저(300)와, 상기 다이오드 레이저(300)의 작동 시 고열에 의해 상기 다이오드 레이저(300)의 수명이 단축되는 것을 방지하기 위해 상기 다이오드 레이저(300)의 열을 냉각시킬 수 있는 열전소자와, 상기 다이오드 레이저(300)를 다수개 배열하여 고정시키기 위한 어레이 홀더(310)와, 상기 어레이 홀더(310)와 대응되어 상기 다수개 배열된 다이오드 레이저(300)로부터 조사되는 빛을 집광시켜 상기 태양전지(10)의 박막으로 조사되는 빛의 집광범위를 넓히기 위한 광학렌즈(600)를 포함하고, 상기 챔버(100) 내의 수용공간에는 수소 및 질소가스가 투입되어 구성될 수 있다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01.01) H05B 1/02 (2006.01.01) H01L 31/0445 (2014.01.01) H01S 5/40 (2006.01.01)
CPC H01L 31/186(2013.01) H01L 31/186(2013.01) H01L 31/186(2013.01) H01L 31/186(2013.01)
출원번호/일자 1020170039187 (2017.03.28)
출원인 조선대학교산학협력단, 주식회사 협진정보
등록번호/일자 10-1845305-0000 (2018.03.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180405) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.03.28)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구
2 주식회사 협진정보 대한민국 광주광역시 광산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김남훈 대한민국 광주광역시 서구
2 박찬일 대한민국 광주광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아주 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 광주광역시 동구
2 주식회사 협진정보 광주광역시 광산구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.03.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0303640-64
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2017.04.13 수리 (Accepted) 1-1-2017-0363524-61
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.04.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2017-0014778-18
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.06.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0420106-18
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.08.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0788178-67
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0898462-21
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-1016642-24
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-1139197-14
10 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period		 2017.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0167562-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.12.06 수리 (Accepted) 4-1-2017-5199091-10
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-1259809-39
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.12.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1259810-86
14 등록결정서
Decision to grant		 2018.03.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0189578-69
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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박막이 형성된 태양전지(10)를 수용하기 위한 진공상태의 수용공간(110)이 형성된 챔버(100)와, 전류를 공급하기 위한 전류공급기(500)와 파이버(400)를 통해 연결되면서 상기 태양전지(10)의 박막으로 빛을 조사하여 상기 태양전지(10)의 박막을 열처리하기 위한 다이오드 레이저(300)와, 상기 다이오드 레이저(300)의 작동 시 고열에 의해 상기 다이오드 레이저(300)의 수명이 단축되는 것을 방지하기 위해 상기 다이오드 레이저(300)의 열을 냉각시킬 수 있는 열전소자와, 상기 다이오드 레이저(300)를 다수개 배열하여 고정시키기 위한 어레이 홀더(310)와, 상기 어레이 홀더(310)와 대응되어 상기 다수개 배열된 다이오드 레이저(300)로부터 조사되는 빛을 집광시켜 상기 태양전지(10)의 박막으로 조사되는 빛의 집광범위를 넓히기 위한 광학렌즈(600)를 포함하고,상기 챔버(100) 내의 수용공간에는 수소 및 질소가스가 투입되며,상기 다이오드 레이저(300)는, 상기 태양전지(10)의 박막에 대한 광흡수율에 따라 파장이 532nm 내지 808nm의 범위이고,상기 광학렌즈(600)는, 상기 다이오드 레이저(300) 파장의 손실을 방지하기 위해 상기 다이오드 레이저(300)에서 532nm 내지 808nm 파장대를 통과시키기 위한 코팅층이 형성되며,상기 챔버(100)에는, 상기 수용공간(110)에 위치되도록 상기 태양전지(10)를 배치하기 위한 샘플스테이지(120)와, 외부에서 상기 태양전지(10)의 박막 열처리하는 과정을 확인하기 위해 상기 수용공간(110)을 투시하기 위한 투시창(140)과, 상기 수용공간(110)이 진공상태로 형성되도록 상기 수용공간(110) 내부의 공기량을 조절하기 위한 스로틀 밸브(200)와, 상기 스로틀 밸브(200)를 제어하여 상기 수용공간(110)의 진공상태를 조절하기 위한 진공조절기와, 상기 진공조절기와 연결되면서 상기 챔버(100)에 설치되어 상기 수용공간(110)의 진공상태를 확인하기 위한 텅스텐 램프(210)를 포함하고,상기 샘플스테이지(120)는, 상면에 상기 태양전지(10)를 안착시키기 위한 샘플받침대(121)와, 상기 샘플받침대(121)의 하면에 결합되어 상기 샘플받침대(121)의 높이를 조절하기 위한 높이조절대(123)와, 상기 높이조절대(123)에 수직되도록 장착되어 상기 샘플받침대(121)를 수평방향으로 이동시키기 위한 이송레인(125)을 포함하여 구성되는 다이오드 레이저를 이용한 박막 태양전지용 열처리 장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 조선대학교 기업부설연구소사업발과제 다이오드 레이저를 이용한 박막 태양전지용 열처리 장비 개발