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피측정물에 입사되어 반사된 광이 상기 피측정물에 입사된 광의 입사각과 상이한 입사각을 가지고 입사되도록 마련된 측정대상거울;광원에서 생성된 광을 분할하는 광분할기; 및상기 분할된 광들 중 제1 광을 투과시키거나 투과시키지 않는 광개폐부;를 포함하는,광계측기
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제1항에 있어서,상기 측정대상거울은,상기 피측정물에 입사되어 반사된 광이 진행하는 경로 상에 마련된,광계측기
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제1항에 있어서,상기 측정대상거울은,표면이 상기 피측정물에서 반사되어 입사되는 광과 직교하는 반사면을 포함하는,광계측기
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제1항에 있어서,상기 광계측기는,표면에 상기 피측정물에 입사되는 광이 기설정된 각도의 입사각을 가지고 입사되도록 마련된 시료대;를 더 포함하는,광계측기
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제4항에 있어서,상기 피측정물은 상기 시료대 상에 배치된,광계측기
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제1항에 있어서,상기 광계측기는,상기 피측정물에 입사되는 광이 기설정된 입사각을 갖도록 상기 피측정물에 입사되는 광을 굴절시키는 굴절부;를 더 포함하는,광계측기
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삭제
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제1항에 있어서,상기 분할된 광들 중 제2 광은 상기 피측정물로 입사하는,광계측기
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제1항에 있어서,상기 광개폐부는,측정 모드(mode)에 따라,상기 제1 광을 투과시키거나 투과시키지 않는,광계측기
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10
제1항에 있어서,상기 광계측기는,입력된 측정 모드에 따라,상기 제1 광을 투과시키거나 투과시키지 않도록 상기 광개폐부를 제어하는 제어부;를 더 포함하는,광계측기
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11
제1항에 있어서,상기 광계측기는,상기 분할된 광들 중 제1 광이 진행하는 경로 상에 마련된 기준거울; 및상기 기준거울 또는 상기 측정대상거울 중 적어도 하나로부터 입사되는 광을 검출하는 검출부;를 더 포함하는,광계측기
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제11항에 있어서,상기 광개폐부가 상기 제1 광을 투과시킨 경우,상기 검출부는,상기 기준거울에 입사된 제1 광이, 상기 기준거울에서 반사된 제1 반사광 및 상기 측정대상거울에 입사된 제2 광이, 상기 측정대상거울에서 반사된 제2 반사광을 모두 검출하는,광계측기
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제11항에 있어서,상기 광개폐부가 상기 제1 광을 투과시키지 않은 경우,상기 검출부는,상기 측정대상거울에 입사된 제2 광이, 상기 측정대상거울에서 반사된 제2 반사광 만을 검출하는,광계측기
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제1항에 있어서,상기 광계측기는,상기 광원과 상기 광분할기 사이에서 상기 광원에서 생성된 광의 위상을 지연시키도록 회전하는 위상지연판; 및상기 광개폐부가 상기 제1 광을 투과시키지 않은 경우, 상기 위상지연판을 동작시키는 제어부;를 더 포함하는,광계측기
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제11항에 있어서,상기 광계측기는,상기 기준거울에 부착되어 상기 기준거울을 이동시키는 기준거울 구동기; 및상기 광개폐부가 상기 제1 광을 투과시킨 경우, 상기 기준거울 구동기를 동작시키는 제어부;를 더 포함하는,광계측기
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