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난분해성 유해가스 소각처리를 위한 다공체 다단연소 시스템 및 이의 운전방법

  • 기술번호 : KST2019029529
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 및 디스플레이 제조공정에 사용되고 배출되는 난분해성 처리가스(PFCs 계열 (CF4, C2F6, C2F4, SF6) 및 NF3) 및 화학공정에서 배출되는 여타 다양한 난분해성 유해가스를 안정적이고 효율적으로 소각시키기 위한 난분해성 유해가스 소각처리를 위한 다공체 다단연소 시스템 및 이의 운전방법에 관한 것으로 초과 엔탈피 연소조건 및 다단연소를 통해 난분해성 폐가스의 분해효율이 높아지는 효과를 갖는다.
Int. CL F23G 7/06 (2006.01.01) F23G 5/14 (2006.01.01) F23G 5/16 (2006.01.01)
CPC F23G 7/06(2013.01) F23G 7/06(2013.01) F23G 7/06(2013.01) F23G 7/06(2013.01) F23G 7/06(2013.01) F23G 7/06(2013.01)
출원번호/일자 1020160052008 (2016.04.28)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1741033-0000 (2017.05.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170529) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.04.28)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이대근 대한민국 대전광역시 서구
2 김승곤 대한민국 대전광역시 유성구
3 노동순 대한민국 대전광역시 유성구
4 고창복 대한민국 대전광역시 유성구
5 곽영태 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 아이퍼스 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0408828-90
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.05.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0432110-35
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.05.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0443146-25
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0723803-15
5 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0832237-06
6 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2016.08.29 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2016.09.06 수리 (Accepted) 9-1-2016-0037861-48
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0916044-85
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-0049962-68
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0050010-53
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0234335-93
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-0334802-80
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.04.05 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0334830-58
15 등록결정서
Decision to Grant Registration
2017.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0283212-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
폐가스 및 소정의 연료 및 제1산화제가 혼합되는 제1유닛(100);상기 제1유닛의 혼합가스가 다공체 내에서 화염을 형성하면서 1차연소되는 제2유닛(200);상기 제2유닛에서 미연된 탄화수소를 2차연소하는 제3유닛(300)을 포함하며상기 제3유닛은 상기 탄화수소를 제2산화제와 혼합시키는 혼합기(310)와 2차 연소가 진행되는 연소챔버(320)을 포함하고,상기 혼합기는 제2산화제를 공급하는 제2산화제주입구(311) 및 상기 탄화수소와 상기 제2산화제를 혼합하기 위한 노즐형혼합부(312)를 포함하며, 상기 노즐형혼합부의 최소 직경부에 접선방향으로 하나 이상의 제2산화제주입노즐(313)이 형성되고,상기 노즐형혼합부의 최대 직경부 대 최소 직경부의 직경비는 2 내지 3이고, 상기 제2산화제주입노즐 직경 대 최소 직경부의 직경비는 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 제2유닛은 상기 다공체 내에 화염을 형성하기 위한 점화기주입부(210)을 포함하는 다공체 다단연소 시스템
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1유닛은 상기 폐가스 및 소정의 연료 및 제1산화제를 공급하는 공급유닛(110) 및 공급된 대상물이 상기 제2유닛에 도달하기 전에 혼합하기 위한 혼합유닛(120)을 포함하는 다공체 다단연소 시스템
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 연소챔버는 상기 혼합가스의 연소반응 체류시간이 0
8 8
제1항에 있어서,상기 다공체는 상기 혼합가스의 유입방향순으로 기공크기가 상이한 2단 다공체로 구성되며, 상단 다공체의 기공수는 30,000개/ m2 내지 40,000개/m2 이고, 하단 다공체의 기공수는 65,000개/ m2 내지 75,000개/ m2 인 다공체 다단연소 시스템
9 9
제1항에 있어서,상기 1차연소시의 당량비는 1
10 10
삭제
11 11
제1항에 있어서,상기 제2유닛은 다공체내 화염 형성을 제어하기 위한 윈도우(220) 및 온도센서부(230)를 포함하는 다공체 다단연소 시스템
12 12
제1항에 있어서,상기 제3유닛의 후단에는 연소 후 배가스를 배출하는 배출유닛(400)이 연결되는 다공체 다단연소 시스템
13 13
제8항에 있어서,상기 다공체는 하니컴 구조의 상압소결 SiC인 다공체 다단연소 시스템
14 14
제1항에 있어서,상기 다공체 다단연소 시스템의 몸체의 외벽을 단열시키기 위한 단열층을 포함하는 다공체 다단연소 시스템
15 15
제1항에 있어서,상기 폐가스는 반도체 또는 디스플레이 제조공정에서 배출되는 난분해성 유해가스와 상기 유해가스를 희석시키기 위한 불활성 가스를 포함하는 다공체 다단연소 시스템
16 16
제1항에 있어서,상기 연료는 탄소수 1 내지 6인 파라핀계, 올레핀계, 알킨계, 지방족 및 방향족 탄화수소 중 어느 하나 또는 2이상의 혼합물인 다공체 다단연소 시스템
17 17
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 환경부 한국에너지기술연구원 글로벌탑환경기술개발사업 초과엔탈피연소와 적정농축기술을 이용한 PFCs 및 NF3 고성능(고 분해율 및 에너지 이용 효율) 분해 처리 기술 개발