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폐가스를 소각시키기 위한 스크러버 시스템(1)에 구비되는 연소장치(110)에 있어서, 상기 연소장치(110)는 제1 세라믹다공체(141), 제2 세라믹다공체(142) 및 내부에 화염면(143)을 형성시키기 위한 점화기를 포함하고, 상기 점화기에 의해서 형성된 상기 화염면(143)은 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142) 사이에 배치되고, 상기 화염면(143)을 형성시키기 위하여 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142) 중 적어도 하나가 이동하여 초과엔탈피 연소를 수행하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제1항에 있어서, 상기 연소장치(110)는 일단에 연소장치(111), 폐가스유입부(112), 및 산화제유입부(113)가 형성되고, 타단에 폐가스가 소각된 배출가스가 배출되는 배출구(150)가 형성된 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제2항에 있어서, 연소장치(111), 폐가스유입부(112), 및 산화제유입부(113)가 형성된 일단은 연소장치(110)에 상부이고, 배출가스가 배출되는 배출구(150)가 형성된 타단은 하부인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제3항에 있어서, 상기 연소장치(111)를 통해 유입되는 연료, 상기 폐가스유입부(112)를 통해 유입되는 폐가스, 및 상기 산화제유입부(113)를 통해 유입되는 산화제를 혼합하여 혼합기체를 제조하는 예혼합기를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제4항에 있어서, 상기 예혼합기와 상기 세라믹다공체 사이에 구비되어, 상기 예혼합기에서 혼합된 기체를 균일하게 상기 세라믹다공체 연소장치(110)로 유입시키는 분배기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제4항에 있어서 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)는 상기 연소장치(110)의 중단부에 도입되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제6항에 있어서, 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)는 연소장치(110) 내부의 모든 내벽에 접하여 구성되어, 상기 혼합기체가 상기 세라믹다공체를 통과하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제7항에 있어서, 상기 혼합기체가 상기 제1 세라믹다공체(141), 상기 화염면(143) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)를 순서로 접하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제1항에 있어서, 상기 제1 세라믹다공체(141)의 기공크기 보다 상기 제2 세라믹다공체(142)의 기공크기가 큰 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제1항에 있어서, 상기 화염면(143)을 형성시키기 위한 점화단계에서 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)의 간격이 증가하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제10항에 있어서, 상기 점화단계의 상기 화염면(143)의 온도를 측정하기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제11항에 있어서, 상기 화염면(143)의 온도가 소정의 온도 이상이면 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)의 간격이 감소하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제1항에 있어서, 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)는 세라믹 허니컴, 세라믹 폼 및 세라믹 볼 베드 중 적어도 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제4항에 있어서, 상기 산화제 유입구를 통해 유입되는 산화제는 산소 또는 공기인 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제4항에 있어서, 상기 폐가스는 반도체 또는 디스플레이 제조공정에서 배출되는 난분해성 유해가스 및 상기 유해가스를 희석시키기 위한 불활성 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)
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제1항 내지 제15항 중 어느 한 항의 연소장치(110)를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크러버 시스템(1)
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폐가스를 소각시키기 위한 스크러버 시스템(1)에 구비되는 연소장치(110)를 이용한 폐가스 처리 방법에 있어서, 연소장치(110)를 구동하기 위하여 연소장치(110)의 중단부에 포함된 제1 세라믹다공체(141) 및 제2 세라믹다공체(142)의 간격을 증가하는 제1단계; 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)의 사이에 존재하는 점화기에 의해 화염면(143)을 형성하는 제2단계; 상기 화염면(143)의 온도를 측정하는 제3단계; 상기 화염면(143)의 온도가 소정의 온도 이상이면 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)의 간격을 감소시키는 제4단계;를 포함하여 초과 엔탈피 화염을 생성시키는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)를 이용한 폐가스 처리 방법
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제17항에 있어서, 연소장치(110) 일단에 형성된 연소장치(111), 폐가스유입부(112), 및 산화제유입부(113)를 통해 각각 연료, 폐가스, 산화제가 상기 연소장치(110) 내부로 유입되는 제5단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)를 이용한 폐가스 처리 방법
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제18항에 있어서, 상기 유입된 연료, 폐가스, 산화제를 예혼합기로 도입되어 혼합기체가 제조되는 혼합단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)를 이용한 폐가스 처리 방법
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제19항에 있어서, 상기 혼합단계 이후에, 상기 예혼합기와 상기 제1 세라믹다공체(141) 사이에 구비된 분배기를 상기 혼합기체가 통과하여 상기 제1 세라믹다공체(141)로 혼합기체가 균일하게 유입되는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연
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제18항에 있어서, 상기 유입된 연료, 폐가스, 산화제가 제1 세라믹다공체(141), 화염면(143), 및 제2 세라믹다공체(142) 순서로 접하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)를 이용한 폐가스 처리 방법
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제21항에 있어서, 상기 유입된 연료, 폐가스, 산화제가 상기 화염면(143)을 통과하면서 상기 화염면(143)의 온도가 저하되는 경우, 연료, 폐가스, 산화제의 유입을 차단하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)를 이용한 폐가스 처리 방법
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제22항에 있어서, 상기 연료, 폐가스, 산화제의 유입을 차단한 상태에서 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 제2 세라믹다공체(142)의 간격이 증가되는 되는 단계; 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)의 사이에 존재하는 점화기로 추가로 화염면(143)을 형성하는 단계; 상기 화염면(143)의 온도를 측정하는 단계; 상기 화염면(143)의 온도가 소정의 온도 이상이면 상기 제1 세라믹다공체(141) 및 상기 제2 세라믹다공체(142)의 간격을 감소시키는 단계;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 난분해성 유해가스의 소각처리를 위한 연소장치(110)를 이용한 폐가스 처리 방법
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