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상하로 이동이 가능하면서 전도체로 구성되어 작업전극의 역할을 하는 상부면;상기 상부면이 내부에서 상하로 이동 가능하도록 상부면과 형상이 동일하고, 전도체로 구성되어 작업전극의 역할을 하는 벽면; 상기 상부면과 마주보도록 구성되며 벽면과 연결된 하부면; 및 기준전극 및 전극에 전압을 인가하는 전원부, 용액주입부를 포함하여 구성되고,상기 상부면의 상하 이동면이 벽면의 내부와 접촉하는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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청구항 1에 있어서, 상기 UPD 반응장치는 티타늄, 니오비움, 또는 흑연 중 1개 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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청구항 1에 있어서, 전구체의 종류, 전구체 함량, 반응액 종류, 온도, 압력, 전압, 생성물의 농도를 표출하는 디스플레이부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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4 |
4
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, 온도, 압력, 전압, 생성물의 농도를 측정하는 센서를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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5
청구항 4에 있어서, 상기 생성물의 농도를 측정하는 센서는 적외선 광원과 적외선 광원을 감지하는 감지기로 구성되는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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6 |
6
청구항 1에 있어서, 상기 상부면은 전자모터 및 상기 전자모터와 연결된 이동축에 의해 상하로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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7 |
7
청구항 1에 있어서, 상기 상부면은 이동축에 의해 상하로 이동 가능하게 구성되어 수동으로도 조정 가능한 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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8
청구항 1에 있어서, 상기 상부면은 상부면 아래의 용액이 상부면을 통과하여 상부면의 위로 빠져나오는 복수개의 채널과 상기 채널에는 필터가 포함되는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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9 |
9
청구항 1에 있어서, 상기 상부면은 상부면 위의 용액이 상부면을 통과하여 상부면의 아래로 빠져나오는 복수개의 채널이 포함되는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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10 |
10
청구항 1에 있어서, 상기 벽면에는 벽면을 관통하여 2개 이상의 기준전극과 2개 이상의 카운터 전극이 설치되고, 상기 벽면의 내벽으로 상기 기준전극과 카운터전극이 돌출되지 않으며, 상기 벽면 내부의 용액과 접촉하는 기준전극 및 카운터전극의 끝부분에는 필터가 위치하도록 구성된 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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11 |
11
청구항 1에 있어서, 상기 하부면에는 반응챔버 내부 용액을 혼합할 수 있는 임펠러 및 임펠러를 구동할 수 있는 모터가 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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12 |
12
청구항 1에 있어서, 상기 하부면에는 반응챔버 내부 용액을 혼합할 수 있는 평판형 또는 불록형 초음파 발생장치가 포함되어 구성되는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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13 |
13
청구항 11 또는 12에 있어서, 상기 임펠러 또는 초음파 발생장치는 상기 하부면에 몰입되어 외부로 돌출되지 않게 구성되는 것을 특징으로 하는 UPD 반응장치
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