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수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019029581
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양 전지에 관한 것으로서, 더 상세하게는 수소 헬륨 공동 주입(implantation)으로 실리콘 웨이퍼에 수소,헬륨 이온을 주입하고 열처리를 수행함으로써 실리콘 웨이퍼상에 전파되는 크랙에 따라 태양 전지를 텍스쳐링하여 박형 실리콘 기판을 제조하는 방법에 대한 것이다.
Int. CL H01L 31/0236 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01) H01L 31/02363(2013.01)
출원번호/일자 1020160180949 (2016.12.28)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1866348-0000 (2018.06.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180612) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.12.28)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송희은 대한민국 대전광역시 유성구
2 장보윤 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤우영 대한민국 서울특별시 서초구
4 이창범 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-1284727-35
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2017-0015156-08
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0722701-69
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-1256771-78
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.12.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1256772-13
8 등록결정서
Decision to grant		 2018.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0241178-19
9 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2018.06.04 수리 (Accepted) 2-1-2018-0366816-26
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법에 있어서,실리콘 기판을 준비하는 단계;상기 실리콘 기판에 수소 이온을 주입하는 단계;상기 수소 이온 주입후 헬륨 이온을 주입하는 단계;상기 수소 이온 및 헬륨 이온이 주입된 실리콘 기판을 열처리하는 단계;상기 열처리에 의해 상기 실리콘 기판 내부에서 다수의 기포가 생성되는 단계;상기 다수의 기포로부터 특정 방향으로 마이크로 크랙이 전파되는 단계; 및상기 마이크로 크랙에 의해 상기 실리콘 기판의 상단 표면에 피라미드 형상이 생성되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 수소 이온 및 헬륨 이온 주입은 텍스쳐링 높이에 따라 주입의 패턴 크기가 결정되는 것을 특징으로 하는 수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 수소 이온 및 헬륨 이온의 주입 방향은 상기 실리콘 기판의 상단면에 수직 방향인 것을 특징으로 하는 수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법
4 4
제 2 항에 있어서,상기 수소 이온 및 헬륨 이온 주입의 패턴 크기는 수학식 (여기서, y는 텍스쳐링 높이이고, x는 텍스쳐링 너비를 나타낸다)으로 정해지는 것을 특징으로 하는 수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 크랙은 상기 실리콘 기판의 실리콘면을 따라 전파하는 것을 특징으로 하는 수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 크랙 전파는 상기 실리콘 기판의 실리콘면들중 결합 에너지가 작은 쪽으로 발생하는 것을 특징으로 하는 수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 실리콘 기판은 점 패턴을 갖는 기판인 것을 특징으로 하는 수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 주입은 연속적 형태가 아닌 점 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수소 헬륨 공동 주입을 통한 박형 실리콘 기판 제조 방법
9 9
[청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
10 10
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국에너지기술연구원 신재생에너지 국제공동연구사업 차세대 웨이퍼링 기술기반의 kerfless 박형 실리콘 태양전지
2 산업통상자원부 한국에너지기술연구원 미래원천 기술개발산업 50미크론 초박형 실리콘 태양전지 사업화 미래원천기술 개발