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박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법

  • 기술번호 : KST2019029586
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 연성기판의 후면에 패터닝된 금속막을 증착시킴으로써 연성기판의 전면에 증착되는 금속전극이 갖는 압축/인장 응력을 상쇄시킬 수 있는, 박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 연성기판의 후면에 패터닝된 금속막을 증착시킴으로써 연성기판 전면에 증착된 금속전극의 압축/인장 응력을 상쇄시킬 수 있다. 또한 기판의 후면에 증착되는 금속막에는 패턴이 형성되어 있어 기판의 후면부에 조사해주는 할로겐 램프 타입 히터의 조사광이 기판 후면부의 빈 공간(금속막이 형성되지 않은 공간)을 통해 기판을 투과한 후 바로 기판 전면의 금속전극에 전달되기 때문에 기판 전면부의 공정온도 조절이 용이한 장점이 있다.
Int. CL H01L 31/0392 (2006.01.01) H01L 31/0236 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC H01L 31/03926(2013.01) H01L 31/03926(2013.01) H01L 31/03926(2013.01)
출원번호/일자 1020170024089 (2017.02.23)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자 10-1877847-0000 (2018.07.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180712) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.23)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안승규 대한민국 대전광역시 서구
2 곽지혜 대한민국 대전광역시 유성구
3 안세진 대한민국 대전광역시 유성구
4 유진수 대한민국 대전광역시 중구
5 조준식 대한민국 대전광역시 유성구
6 박주형 대한민국 대전광역시 유성구
7 어영주 대한민국 대전광역시 유성구
8 조아라 대한민국 대전광역시 유성구
9 김기환 대한민국 대전광역시 유성구
10 윤재호 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2017-0188017-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.06.12 수리 (Accepted) 9-1-2017-0018666-96
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0869031-34
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.02.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0141769-23
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-0141753-04
7 등록결정서
Decision to grant		 2018.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0387829-13
8 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2018.07.06 수리 (Accepted) 2-1-2018-0444967-19
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법으로서,연성기판을 준비하는 단계(단계 a-1);상기 연성기판 일면에 단일 또는 복수의 층으로 구성된 금속막을 증착하는 단계(단계 a-2); 및증착된 금속막을 패터닝하는 단계(단계 a-3)를 포함하고, 상기 단계 a-2에서 금속막은, 금속전극이 증착되는 면의 반대편 면에 증착되며,상기 단계 a-3는 패터닝된 마스크를 이용하여 금속막을 에칭하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는, 박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법
2 2
박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법으로서,연성기판을 준비하는 단계(단계 b-1);상기 연성기판 일면에 패터닝된 마스크를 부착하는 단계(단계 b-2); 및상기 마스크 위에 단일 또는 복수의 층으로 구성된 금속막을 증착시켜 패터닝된 금속막을 형성하는 단계(단계 b-3)를 포함하고,상기 단계 b-2에서 마스크는 금속전극이 증착되는 면의 반대편 면에 부착되는 것을 특징으로 하는, 박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법
3 3
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 연성기판은 스테인레스 연성기판, Ni-Fe계 연성기판 및 고분자 재질로 이루어진 연성기판으로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는, 박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법
4 4
청구항 3에 있어서,상기 고분자 재질로 이루어진 연성기판은 폴리이미드 기판인 것을 특징으로 하는, 박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법
5 5
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 금속막은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 텅스텐(W) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법
6 6
[청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
7 7
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 금속막의 면적은 연성기판 면적의 1 ~ 99% 영역을 커버하는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는, 박막 태양전지용 연성기판의 응력 완화 방법
8 8
[청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
9 9
연성기판 후면에 응력 완화용 금속막이 형성된 박막 태양전지의 제조방법으로서,연성기판을 준비하는 단계; 상기 연성기판 상에 금속전극층을 증착하는 단계; 상기 금속전극층 상면에 광흡수층을 증착하는 단계; 상기 광흡수층 상면에 버퍼층을 증착하는 단계; 및 상기 버퍼층 상면에 투명전극층을 증착하는 단계를 포함하여 구성되며,상기 연성기판을 준비하는 단계 이후, 금속전극층이 증착되는 면의 반대편 면에 패턴화된 금속막을 증착하는 단계를 더 포함하고,상기 패턴화된 금속막을 증착하는 단계는, 상기 연성기판 일면에 단일 또는 복수의 층으로 구성된 금속막을 증착한 후 패터닝된 마스크를 이용하여 금속막을 에칭하는 방법으로 패턴화하는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지의 제조방법
10 10
연성기판 후면에 응력 완화용 금속막이 형성된 박막 태양전지의 제조방법으로서,연성기판을 준비하는 단계; 상기 연성기판 상에 금속전극층을 증착하는 단계; 상기 금속전극층 상면에 광흡수층을 증착하는 단계; 상기 광흡수층 상면에 버퍼층을 증착하는 단계; 및 상기 버퍼층 상면에 투명전극층을 증착하는 단계를 포함하여 구성되며,상기 연성기판을 준비하는 단계 이후, 금속전극층이 증착되는 면의 반대편 면에 패턴화된 금속막을 증착하는 단계를 더 포함하고,상기 패턴화된 금속막을 증착하는 단계는, 상기 연성기판 일면에 패터닝된 마스크를 부착한 후, 상기 마스크 위에 단일 또는 복수의 층으로 구성된 금속막을 증착시켜 패터닝된 금속막을 형성하는 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국에너지기술연구원 주요사업(구, 기본사업) 비진공 R2R 공정기반 CIGS 박막 모듈 개발
2 미래창조과학부 한국에너지기술연구원 기후변화 대응 기술개발 폴리머 기판 적용 R2R 공정기반 고효율 플렉서블 CIGS 박막 태양전지 개발
3 미래창조과학부 한국에너지기술연구원 글로벌프론티어 사업 극한물성이용 웨어러블 소자 에너지 플랫폼 원천기술개발