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윈도우 기판과 백플레인을 라미네이션하는 라미네이션 장치에서 윈도우 기판 후면에 대하여 OCA층이 전면에 형성된 상태의 백플레인을 압착시키는 라미네이션 장치용 압착패드에 있어서,백플레인이 장착되는 전측 표면에 다수의 흡착홀이 구비되어, 백플레인이 장착부재에 의해 표면에 대면한 상태로 가압착될 때 상기 흡착홀이 수축되어 진공압을 형성하면서 백플레인을 흡착하여 가압착된 상태를 유지할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치용 압착패드
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제1항에 있어서,백플레인이 장착되는 전측 표면에 다수의 흡착홀을 갖는 제1탄성체가 구비된 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치용 압착패드
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제2항에 있어서,백플레인이 장착되는 전측 표면에서 상기 제1탄성체와 함께 구비되는 제2탄성체가 백플레인을 윈도우 기판에 본압착시킬 때 백플레인을 지지할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치용 압착패드
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제3항에 있어서,상기 제1탄성체는 몸체를 두께 방향으로 완전히 관통하는 다수의 흡착홀을 구비한 일정 두께의 패드 형상으로 이루어지며, 상기 제2탄성체는 상기 제1탄성체를 후면에서 대면하는 패드 형상의 몸체부와 상기 몸체부 전면에서 돌출 형성되어 상기 제1탄성체의 흡착홀 내부에 삽입되되 흡착홀의 깊이보다는 짧은 길이를 갖는 원기둥 형태의 돌기부로 이루어진 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치용 압착패드
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제4항에 있어서,윈도우 기판에 대하여 백플레인이 일정 이상의 힘으로 본압착되어 제1탄성체의 수축이 더 진행되면 진공압이 형성되던 흡착홀의 내부 공간이 제2탄성체의 돌기부에 의해 채워져 사라지면서 진공압에 의한 흡착력이 해제되는 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치용 압착패드
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제4항에 있어서,상기 제1탄성체와 제2탄성체 중 적어도 어느 하나는 실리콘 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치용 압착패드
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윈도우 기판과 백플레인을 라미네이션하는 라미네이션 장치에 있어서, 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 압착패드;상기 압착패드를 지지하는 패드 지지대;상기 압착패드가 윈도우 기판 후면에 대하여 백플레인을 본압착하는 작업을 착수하기 전에 상기 압착패드에 대하여 백플레인을 가압착하여 장착시켜주는 장착부재를 포함하여, 상기 압착패드가 그 표면에 구비된 다수의 흡착홀에 의해 백플레인을 흡착하여 가압착된 상태를 유지하면서 백플레인을 윈도우 기판의 후면에 본압착하도록 한 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치
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제7항에 있어서, 상기 장착부재는 플렉시블한 랩시트를 구비하여 상기 압착패드의 전측 표면을 감싸는 방법으로 백플레인을 그 모서리 단부까지 상기 압착패드에 밀접하게 가압착시킬 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치
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제8항에 있어서,상기 장착부재의 랩시트는 백플레인에 형성되어 있는 OCA층을 대면 접촉하여 상기 백플레인을 부착하고, 이후 백플레인을 부착된 상태로 이송하여 상기 압착패드의 전측 표면에 가압착시키는 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치
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제9항에 있어서,상기 랩시트는 테프론 소재로 이루어진 것을 특징으로 하는 라미네이션 장치
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