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흡수 스펙트럼이 국소표면 플라즈몬 공명주파수를 갖고 금속 나노 입자체(310)와 분산용매(320)가 혼합된 금속 나노 입자(300)가 소결되도록 상기 금속 나노 입자(300)의 국소표면 플라즈몬 공명주파수 내의 파장을 출력하는 광원부(110); 및상기 광원부(110)의 동작을 제어하는 제어부(120)를 포함하고,상기 광원부(110)는 금속 나노 입자체(310)와 분산용매(320)가 혼합된 금속 나노 입자(300)의 국소표면 플라즈몬 공명주파수 내의 파장을 출력하는 제1 광원부(111)와, 상기 분산용매(320)가 기화된 후 상기 금속 나노 입자체(310)의 국소표면 플라즈몬 공명주파수 내의 파장을 출력하는 제2 광원부(112)를 구비한 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 1 항에 있어서,상기 금속 나노 입자(300)는 금속 나노 입자 분말 또는 금속 나노 입자가 분산된 용액 중 어느 하나의 형태로 분산되는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 2 항에 있어서,상기 금속 나노 입자(300)는 Al, Au, Ag, Cu, Ti, Pt 및 Pd 중 어느 하나 또는 상기 어느 하나를 사용한 합금이면서 국소표면 플라즈몬 공명주파수를 갖는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 2 항에 있어서,상기 금속 나노 입자(300)가 분산된 용액은 알코올, 아세톤, 증류수, IPA, 벤젠, 톨루엔 중 어느 하나 또는 상기 어느 하나를 포함한 용액의 형태로 분산된 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 2 항에 있어서,상기 광원은 금속 나노 입자 분말 또는 금속 나노 입자가 분산된 용액의 흡수 스펙트럼에서 FWHM(Full Width at Half Maximum) 내의 파장을 출력하는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 광원부(111)가 출력하는 금속 나노 입자(300)의 국소표면 플라즈몬공명주파수 내의 파장은 금속 나노 입자체(310)의 크기 및 형태, 분산용매(320)의 유전 상수에 따라 결정하는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 1 항에 있어서,상기 소결장치는 상기 광원부(110)에서 출력된 광의 조사 위치를 제어하는 갈바노미터 스캐너(130)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 1 항에 있어서,상기 소결장치는 기판(200) 또는 분산용매(320)의 온도를 검출하는 온도 센서부(140); 및상기 제1 광원부(111) 및 제2 광원부(112)의 동작 시간을 카운트하는 타이머(150) 중 적어도 하나 이상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 1 항에 있어서,상기 소결장치는 입사 광원의 파장에 대해 10% ~ 100% 범위의 투과율을 갖는 투광부(210)를 포함하는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 11 항에 있어서,상기 투광부(210)는 임의의 전극 패턴이 형성된 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 11 항에 있어서,상기 소결장치는 상기 투광부(210)를 가압하는 가압부(160)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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제 1 항에 있어서,상기 소결장치는 기판(200) 상에 설치되어 금속 나노 입자(300)가 상기 기판(200) 상에 임의의 패턴을 형성하며 분산되도록 설치한 마스크(220)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결장치
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a) 베이스부(101)에 기판(200)을 로딩하고, 상기 기판(200)에 흡수 스펙트럼이 국소표면 플라즈몬 공명주파수를 갖는 금속 나노 입자(300)가 분산되도록 도포하는 단계;b) 제어부(120)가 금속 나노 입자(300) 흡수 스펙트럼의 FWHM(Full Width at Half Maximum) 내의 파장을 갖는 광원이 출력되도록 제1 광원부(111)를 통해 금속 나노 입자(300)의 국소표면 플라즈몬 공명 주파수에 해당하는 파장의 제1 광원(L1)을 출력하는 단계;c) 상기 제어부(120)가 온도 센서부(140) 및 타이머(150)로부터 시프트 조건을 검출하여 미리 설정된 기준값과 비교하여 시프트 여부를 판단하는 단계; 및d) 상기 판단 결과, 시프트이면, 상기 제어부(120)가 제2 광원부(112)를 통해 상기 금속 나노 입자(300)의 국소표면 플라즈몬 공명주파수에 해당하는 파장으로 시프트한 제2 광원(L2)을 출력하는 단계를 포함하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결방법
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제 15 항에 있어서,상기 시프트 조건은 상기 제1 광원부(111)의 동작에 따른 온도 센서부(140)가 검출한 기판(200) 또는 분산용매(320)의 온도, 상기 제1 광원부(111) 및 제2 광원부(112)의 조사시간 중 적어도 하나의 동작에 따른 타이머(150)가 검출한 동작시간을 포함하는 것을 특징으로 하는 국소표면 플라즈몬 공명을 이용한 나노입자 소결방법
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