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가스분해 증착 3D 프린팅 제작물의 기판 분리방법 및 이에 적용되는 식각 처리장치

  • 기술번호 : KST2019029973
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 성형가스 분위기에서 금속소재의 기판에 레이저빔을 조사하여 성형가스의 열분해에 의해 상기 기판에 증착되어 형성된 성형체로부터 상기 기판을 분리하는 방법에 관한 것으로, 기판 저면과 기판 상면의 가장자리가 노출된 상태를 유지하면서 기판 상면에 성형체를 에워싸게 제1보호층으로 피막하는 단계와, 기판을 제1식각액에 의해 제1보호층에 피막된 성형체로부터 분리하는 단계와, 제1보호층을 성형체로부터 제2식각액에 의해 분리하는 단계를 포함한다. 이러한 가스분해 증착 3D 프린팅 제작물의 기판 분리방법 및 이에 적용되는 식각 처리장치에 의하면, 금속소재 기판으로부터 성형체를 안정적이면서 용이하게 분리할 수 있다.
Int. CL B22F 3/105 (2006.01.01) B33Y 50/00 (2015.01.01) B33Y 40/00 (2015.01.01)
CPC B22F 3/105(2013.01) B22F 3/105(2013.01) B22F 3/105(2013.01)
출원번호/일자 1020170116465 (2017.09.12)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-1802446-0000 (2017.11.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20171128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2016-0088237 (2016.07.12)
관련 출원번호 1020160088237
심사청구여부/일자 Y (2017.09.12)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종복 대한민국 광주광역시 북구
2 이동길 대한민국 광주광역시 북구
3 장원근 대한민국 경기도 군포시 번영로***번길 *, *
4 김양규 대한민국 광주광역시 북구
5 이광훈 대한민국 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2017.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0884084-04
2 등록결정서
Decision to grant
2017.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0795759-95
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 식각하는 제1식각액이 담수된 수조와;상기 기판의 저면을 상호 이격되게 지지하는 다수의 지지핀 사이에 상하로 관통된 관통홀이 다수 형성된 지지플레이트와, 상기 지지플레이트를 상기 수조 내에 설정된 높이로 부양시킬 수 있도록 상기 지지플레이트와 결합된 서포트 부재와;상기 수조 내의 온도를 검출하는 온도센서와;상기 수조 상부에서 상기 기판을 향해 광을 출사하는 광원과;상기 광원의 광출사방향에 대응되는 상기 수조 내에 설치되어 입사된 광을 상기 수조의 측면으로 반사시키는 반사경과;상기 반사경으로부터 입사된 광을 검출하는 광검출기와;상기 수조의 하부에서 상기 수조를 가열하는 가열부와;상기 수조내에 저수된 제1식각액을 교반하는 교반부와;상기 제1식각액의 온도가 설정된 식각온도를 유지하도록 상기 온도센서로부터 수신된 정보를 이용하여 상기 가열부의 구동 및 상기 교반부의 구동을 제어하고, 상기 광검출기로부터 광입사신호가 수신되면 출력부를 통해 상기 기판의 식각이 완료됐음을 알리는 알람정보가 출력되게 처리하는 식각 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 식각 처리장치
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1 KR101800763 KR 대한민국 FAMILY

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국광기술원 신진연구자지원 크리스탈 3D 프린팅을 위한 선택적 레이저 증착 기술 개발