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III-V족 화합물 반도체를 포함하는 이중접합 태양전지 단위체; 및상기 이중접합 태양전지 단위체의 배열의 하부에 배치되는 실리콘을 포함하는 반도체로 형성되는 베이스 태양전지를 포함하고, 상기 이중접합 태양전지 단위체의 하부 및 상기 베이스 태양전지의 상부는 서로 웨이퍼 본딩으로 결합가능한 재질로 형성되고,상기 베이스 태양전지 상에 복수의 이중접합 태양전지 단위체가 일정한 배열을 형성하고, 상기 이중접합 태양전지 단위체는,제1태양전지; 제1태양전지와 하부에 배치되는 제2태양전지; 및제1태양전지와 제2태양전지 사이에 배치되는 제1터널 배리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지
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제1항에 있어서, 상기 이중접합 태양전지 단위체의 제1태양전지는 AlGaAs 화합물 반도체로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지
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제1항에 있어서,상기 이중접합 태양전지 단위체의 제2태양전지는 GaAs 화합물 반도체로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지
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제1항에 있어서,상기 이중접합 태양전지 단위체와 상기 베이스 태양전지 사이에는 제2터널 배리어를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지
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제1항에 있어서,상기 이중접합 태양전지 단위체의 배열 사이로 드러난 상기 베이스 태양전지의 표면은 소정의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지
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제1항에 있어서,상기 베이스 태양전지는 실리콘 태양전지로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지
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제1항에 있어서,상기 베이스 태양전지는 Si/SiGe 이중접합 태양전지로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지
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제1항에 있어서,상기 이중접합 태양전지 단위체의 배열에 대응되는 집광렌즈를 구비하는 광투과층을 구비하는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지
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다중접합 태양전지의 제조방법에 있어서,베이스 태양전지를 준비하는 단계;성장기판 상에 희생층, 제1태양전지층, 제1터널배리어층, 제2태양전지층를 순차적으로 성장시켜 III-V족 화합물 반도체를 포함하는 이중접합 태양전지층을 형성하는 단계;상기 이중접합 태양전지층을 형성하는 단계를 복수회 반복하여 다층의 이중접합 태양전지층을 형성하는 단계;제1식각용액으로 상기 다층의 이중접합 태양전지층 중 최상부에 위치한 이중접합 태양전지층을 일정한 패턴으로 식각하여 이중접합 태양전지 단위체 및 단위체의 배열을 형성하는 단계;상기 이중접합 태양전지 단위체 및 단위체의 배열을 베이스 태양전지에 웨이퍼 본딩으로 결합하는 단계; 및제2식각용액으로 최상부에 위치한 이중접합 태양전지층의 제2태양전지와 인접한 희생층을 식각하는 단계를 포함하고,상기 희생층을 식각하는 단계에서 이중접합 태양전지 단위체 및 단위체의 배열이 상기 다층의 이중접합 태양전지로부터 분리되고,상기 이중접합 태양전지 단위체 및 단위체의 배열을 형성하는 단계부터 상기 희생층을 식각하는 단계를 복수회 반복하는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 베이스 태양전지를 준비하는 단계에서 상기 베이스 태양전지는 실리콘 태양전지로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 베이스 태양전지를 준비하는 단계에서 상기 베이스 태양전지는 Si/SiGe 이중접합 태양전지로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 베이스 태양전지를 준비하는 단계에서 상기 베이스 태양전지의 상부에는 제2터널 배리어를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 이중접합 태양전지층을 형성하는 단계에서 희생층은 AlAs층으로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 이중접합 태양전지층을 형성하는 단계에서 제1태양전지층은 AlGaAs 화합물 반도체로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 이중접합 태양전지층을 형성하는 단계에서 제2태양전지층은 GaAs 화합물 반도체로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 이중접합 태양전지 단위체 및 단위체의 배열을 형성하는 단계에서 상기 제1식각용액은 상기 제1태양전지층, 제1터널배리어층 및 제2태양전지층을 식각하는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 희생층을 식각하는 단계 다음에 상기 이중접합 태양전지 단위체의 배열 사이의 상기 베이스 태양전지의 표면을 식각하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 이중접합 태양전지 단위체의 배열에 대응되는 집광렌즈를 구비하는 광투과층을 적층하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중접합 태양전지의 제조방법
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