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3-D 프린터로 제작되는 MEMS 칸틸레버 스위치의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019030058
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 MEMS 칸틸레버 스위치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 3-D 프린터로 제작되는 MEMS 칸틸레버 스위치 및 그 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해, 기판(10)을 준비하는 단계(S100); 기판(10)상에 3-D 프린터를 이용하여 풀다운 전극(20)을 형성하는 단계(S110); 3-D 프린터를 이용하여 풀다운 전극(20)의 상면 및 적어도 일측에 희생층(30)을 형성하는 단계(S130); 3-D 프린터를 이용하여 희생층(30)의 상면 및 적어도 일측에 상부전극(40)을 형성하는 단계(S150); 및 희생층을 제거하는 단계(S170);로 구성되는 것을 특징으로 하는 3-D 프린터로 제작되는 MEMS 칸틸레버 스위치의 제조방법이 제공된다.
Int. CL H01H 11/00 (2006.01.01) H01H 1/00 (2006.01.01)
CPC H01H 11/00(2013.01) H01H 11/00(2013.01) H01H 11/00(2013.01)
출원번호/일자 1020170049864 (2017.04.18)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1885996-0000 (2018.07.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180807) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.04.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최성진 대한민국 서울 관악구
2 한정민 대한민국 서울특별시 성북구
3 최봉식 대한민국 울산 남구
4 윤진수 대한민국 서울시 성북구
5 이주희 대한민국 서울특별시 은평구
6 전민수 대한민국 경기도 부천시 원미구
7 이용우 대한민국 경기도 구리시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 아이퍼스 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-0379310-16
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.03.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0039960-47
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0185748-31
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.05.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0468079-63
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2018-0468078-17
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0340635-28
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2018.06.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0559100-47
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-0559099-88
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0396582-42
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번호 청구항
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기판(10)을 준비하는 단계(S100);상기 기판(10)상에 3-D 프린터를 이용하여 풀다운 전극(20)을 형성하는 단계(S110);상기 3-D 프린터를 이용하여 상기 풀다운 전극(20)의 상면 및 적어도 일측에 희생층(30)을 형성하는 단계(S130);상기 3-D 프린터를 이용하여 상기 희생층(30)의 상면 및 적어도 일측에 상부전극(40)을 형성하는 단계(S150); 및상기 희생층을 제거하는 단계(S170);로 구성되고,상기 상부전극(40)의 형성단계(S150)는, 상기 기판(10)상에서 상기 풀다운 전극(20)과 이격된 채 앵커부(44)를 형성하는 단계; 및상기 앵커부(44)의 측면으로부터 상기 풀다운 전극(20) 영역까지 연장하여 칸틸레버부(42)를 형성하는 단계;를 포함하며,상기 칸틸레버부(42)는 탄성 굽힘에 의해 상기 풀다운 전극(20)에 접촉될 수 있는 길이 이상이고, 상기 희생층(30)의 두께는 상기 상부전극(40)과 상기 풀다운 전극(20) 사이의 간격으로 전기적 절연이 이루어질 수 있는 간격 이상인 것을 특징으로 하는 3-D 프린터로 제작되는 MEMS 칸틸레버 스위치의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 풀다운 전극(20) 및 상기 상부전극(40)중 적어도 하나는 도전성 PLA를 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 3-D 프린터로 제작되는 MEMS 칸틸레버 스위치의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 희생층(30)은 PVA를 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 3-D 프린터로 제작되는 MEMS 칸틸레버 스위치의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 희생층(30)의 제거단계(S170)는 상기 스위치를 DI-워터에 침지하는 단계; 및상기 DI-워터가 상기 희생층(30)을 녹임으로써 제거하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 3-D 프린터로 제작되는 MEMS 칸틸레버 스위치의 제조방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 국민대학교산학협력단 중견연구자지원사업 사용자의 의도에 따라 소멸 및 분해가 가능한 보안용 및 의료용 탄소나노튜브 전자소자 개발 및 응용 개발
2 미래창조과학부 국민대학교산학협력단 선도연구센터사업 하이브리드 디바시스를 이용한 일주기 ICT 연구센터
3 산업통상자원부 성균관대학교 산학협력단 산업핵심기술개발사업 5nm급 이하 차세대 Logic 소자 원천요소개발