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제1 방향으로 연장되고, 압축 기체가 주입되는 제1 바디;상기 제1 방향을 중심축으로 상기 제1 바디에 대해서 회전하며, 양단으로 연장되는 제2 바디;상기 제2 바디의 양단에 설치되며, 상기 압축 기체가 지나가는 내주면에 그루브를 구비하는 분사 노즐; 및상기 제1 바디와 상기 제2 바디의 사이에 배치되고, 상기 제2 바디가 상기 제1 방향으로 이동하여 개폐되는 감압 개구;를 포함하는, 회전 노즐 어셈블리
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제1 항에 있어서,상기 분사 노즐은 상기 그루브가 토출 방향으로 나선형을 가지는, 회전 노즐 어셈블리
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제2 항에 있어서,상기 분사 노즐은 상기 제2 바디의 외측으로 경사지도록 배치되는, 회전 노즐 어셈블리
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제1 항에 있어서,제2 바디는 측면에 상기 압축 기체를 배출하여 상기 제2 바디를 회전시키는 구동 개구;를 구비하는, 회전 노즐 어셈블리
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제1 항에 있어서,상기 제2 바디의 길이방향으로 신장되고, 상기 제2 바디의 내부에 배치되는 탄성 부재; 및상기 탄성 부재와 연결되어, 상기 탄성 부재의 선형이동으로 상기 압축 기체의 유동을 제어하는 가이드부;를 더 포함하는, 회전 노즐 어셈블리
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7
제1 항에 있어서,상기 그루브는 내주면을 따라 만곡지게 형성되거나, 단차지게 형성되는, 회전 노즐 어셈블리
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제1 방향으로 연장되고, 압축 기체가 주입되는 제1 바디;상기 제1 방향을 중심축으로 상기 제1 바디에 대해서 회전 가능하게 설치되고, 측면에 상기 압축 기체의 일부를 배출하는 구동 개구를 구비하는 제2 바디; 상기 제2 바디의 양단에 설치되는 분사 노즐; 및상기 제2 바디의 길이방향으로 신장되고, 상기 제2 바디의 내부에 배치되는 탄성 부재와, 상기 탄성 부재와 연결되어 상기 탄성 부재의 선형이동으로 상기 구동 개구의 개도를 조절하는 가이드부를 구비하는 구동 조절부;를 포함하고,상기 제2 바디의 내부 압력이 기 설정된 압력 이상이면 상기 가이드부가 상기 구동 개구를 막는, 회전 노즐 어셈블리
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제8 항에 있어서,상기 분사 노즐은 상기 압축 기체가 지나가는 내주면에 복수개의 나선형의 그루브를 구비하는, 회전 노즐 어셈블리
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제8 항에 있어서,상기 분사 노즐은상기 압축 기체가 지나가는 복수개의 토출홀을 구비하고, 상기 토출홀은 길이방향에 대해서 경사지게 배치되는, 회전 노즐 어셈블리
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제1 하우징;상기 제1 하우징의 내부에 이격 배치되는 제2 하우징; 상기 제1 하우징과 상기 제2 하우징 사이의 공간과 연통되는 집진 배출부; 및압축 기체가 주입되는 제1 바디와, 상기 제1 바디에 대해서 회전하고 상기 압축 기체의 일부가 배출되는 구동 개구를 가지는 제2 바디, 및 상기 제2 바디의 양단에 설치되고 상기 압축 기체가 지나가는 내주면에 그루브를 가지는 분사 노즐을 구비하는 회전 노즐 어셈블리;를 구비하는, 건식 세정 장치
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제12 항에 있어서,상기 회전 노즐 어셈블리는상기 제2 바디의 길이방향으로 신장되고, 상기 제2 바디의 내부에 배치되는 탄성 부재와, 상기 탄성 부재와 연결되어 상기 탄성 부재의 선형이동으로 상기 구동 개구의 개도를 조절하는 가이드부를 구비하는 구동 조절부;를 구비하는, 건식 세정 장치
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제12 항에 있어서,상기 분사 노즐은 상기 그루브가 토출 방향으로 나선형을 가지는, 건식 세정 장치
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