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수소 가스 및 불활성 가스가 혼합된 혼합가스를 준비하는 단계(단계 1); 및상기 혼합가스를 진공 상태의 챔버에 주입하고 열처리하는 단계(단계 2);를 포함하고,표면에 불소 작용기를 포함하는 실리콘 기판이 상기 단계 2의 챔버 내부에 구비되고,상기 단계 1의 수소 가스 및 불활성 가스의 혼합 체적비는 1 : 4000 내지 8000인, 실리콘 기판 표면의 잔류 할로겐 제거방법
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제1항에 있어서,상기 단계 2의 혼합가스 주입 전 진공 챔버의 압력은,1×10-2 Torr 내지 1×10-1 Torr인 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 표면의 잔류 할로겐 제거방법
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제1항에 있어서,상기 단계 2의 열처리 온도는,200 ℃ 내지 300 ℃인 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 표면의 잔류 할로겐 제거방법
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수소 가스 및 불활성 가스가 혼합된 혼합가스를 준비하는 단계(단계 i); 및상기 혼합가스를 진공 상태의 챔버에 주입하고 열처리하는 단계(단계 ii);를 포함하고,표면에 불소 작용기를 포함하는 실리콘 기판이 상기 단계 ii의 챔버 내부에 구비되며,상기 단계 i의 수소 가스 및 불활성 가스의 혼합 체적비는 1 : 4000 내지 8000이고,상기 열처리 이후 발생되는 불화물 가스를 배기하는 단계(단계 iii)를 더 포함하는, 실리콘 기판 표면의 잔류 할로겐 제거방법
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제5항에 있어서,상기 단계 iii의 배기는,1×10-2 Torr 내지 1×10-1 Torr의 압력으로 수행되는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판 표면의 잔류 할로겐 제거방법
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수소 가스 및 불활성 가스가 1 : 4000 내지 8000의 체적비로 혼합되는 혼합부;상기 혼합부로부터 연통되는 챔버;외부로부터 상기 챔버 내부에 표면에 불소 작용기를 포함하는 실리콘 기판을 전달하는 이송유닛;상기 챔버를 개방 및 밀봉하는 개폐부;상기 챔버를 가열하는 히터;상기 챔버와 연통되는 저진공 펌프; 및상기 챔버와 연통되고 불화물 가스를 배출하는 배기 펌프;를 포함하는, 실리콘 기판 표면의 잔류 할로겐 제거장치
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