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정전 용량형 MEMS 공진기

  • 기술번호 : KST2019030243
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 정전 용량형 MEMS 공진기가 개시된다. 본 공진기는 구동 신호를 인가하는 구동부, 구동부에 일단이 연결되어, DC 성분 및 AC 성분을 포함하는 구동 신호가 인가되면 정전 용량에 기초하여 구동 신호를 공진하는 공진부 및 공진부의 다른 일단에 연결되고 차동 증폭기를 구비한 감지부를 포함하며, 차동 증폭기의 제1 입력단에 공진부의 출력이 연결되고, 차동 증폭기의 제2 입력단에 외부 AC 전원이 연결되며, 공진부에 DC 성분이 제거된 구동 신호가 구동부를 통해 인가되는 경우, 제1 입력단에 입력되는 기생 용량에 의한 피드 스루 노이즈를 외부 AC 전원을 이용하여 상쇄할 수 있다. 이에 따라 효과적으로 노이즈가 제거될 수 있다.
Int. CL H03H 9/24 (2006.01.01) H03H 9/50 (2006.01.01) H03B 5/30 (2006.01.01)
CPC H03H 9/24(2013.01) H03H 9/24(2013.01) H03H 9/24(2013.01) H03H 9/24(2013.01)
출원번호/일자 1020170022669 (2017.02.21)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1880911-0000 (2018.07.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.02.21)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이병렬 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 이크발 파이잘 대한민국 충청남도 천안시 동남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 남앤남 대한민국 서울특별시 중구 서소문로 ** (서소문동, 정안빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 충청남도 천안시 동남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-0176556-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.08.09 수리 (Accepted) 9-1-2017-0026515-43
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.01.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0046022-32
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.03.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0261780-18
6 [출원서 등 보정(보완)]보정서
2018.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0259923-47
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0261779-61
8 [공지예외적용 보완 증명서류]서류제출서
2018.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0259957-99
9 등록결정서
Decision to grant
2018.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0461099-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.11.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5234295-28
11 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-1242536-17
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
정전 용량형 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 공진기에 있어서,구동 신호를 인가하는 구동부; 상기 구동부에 일단이 연결되어, DC(Direct Current) 성분 및 AC(Alternating Current) 성분을 포함하는 구동 신호가 인가되면 정전 용량에 기초하여 상기 구동 신호를 공진시키는 공진부; 및상기 공진부의 다른 일단에 연결되고 차동 증폭기를 구비한 감지부를 포함하며,상기 차동 증폭기의 제1 입력단에 상기 공진부의 출력이 연결되고, 상기 차동 증폭기의 제2 입력단에 외부 AC 전원이 연결되며, 상기 외부 AC 전원은, 상기 공진부에 DC 성분이 제거된 구동 신호가 인가되는 경우 상기 제1 입력단에서 측정되는 기생(parasitic) 용량에 의한 피드스루 노이즈를 상쇄시키도록 전원값이 설정되는, 정전 용량형 MEMS 공진기
2 2
제1항에 있어서,상기 공진부와 소정 거리로 이격된 진동자를 더 포함하며,상기 구동부는,상기 DC 성분 및 AC 성분을 포함하는 구동신호를 상기 공진부에 인가하여, 상기 진동자가 진동하도록 제어하는 정전 용량형 MEMS 공진기
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제2항에 있어서,상기 정전 용량형 MEMS 공진기는 정전 용량형 MEMS 자이로스코프인 정전 용량형 MEMS 공진기
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제2항에 있어서,상기 공진부에 상기 DC 성분 및 AC 성분을 포함하는 구동신호가 인가될 때, 피드스루 노이즈가 소정의 조건만큼 상쇄되지 않은 경우, 상기 외부 AC 전원을 이용하여 상기 피드스루 노이즈를 상쇄하는 정전 용량형 MEMS 공진기
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1 산업통상자원부 (주)신성씨앤티 9 축 스마트 모션센서 핵심 요소기술 개발 센서산업고도화전문기술개발사업