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수직형 프로브 모듈을 제조하는 방법에 있어서,프로브 고정 부재 위에 복수의 홀을 가진 상부 플레이트를 부착하는 단계;복수의 프로브 핀의 정렬을 가이드하기 위한 가이드 부재를 설치하는 단계;상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치를 기반으로 상기 가이드 부재의 가이드에 따라 수직형 프로브 모듈에 포함된 복수의 프로브 핀의 헤드를 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각에 고정시키는 단계;상부 플레이트에 고정된 복수의 프로브 핀의 팁이 통과되도록 복수의 홀을 갖는 가이드 필름을 덮는 단계;상기 가이드 필름 위에 하부 플레이트를 덮는 단계 및상기 프로브 고정 부재를 제거하는 단계를 포함하고, 상기 가이드 부재는 서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되고, 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 서로 직교한 상태에서 이동하도록 가이드 홈 및 가이드 레일을 포함하는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 프로브 고정 부재 위에 아크릴 계 접착제 또는 접착 테이프를 이용하여 상기 상부 플레이트를 부착하는 것을 더 포함하는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치에 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 직교점을 순차적으로 이동시키면서 수직형 프로브 모듈에 포함된 복수의 프로브 핀의 헤드를 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각에 고정시키는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법
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제2항에 있어서,수직형 프로브 모듈을 아세톤 및 에탄올을 포함한 용해제를 이용하여 상기 상부 플레이트로부터 상기 프로브 고정 부재를 제거하는 것을 더 포함하는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법
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제1항, 제2항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 따른 프로브 모듈의 제조 방법에 의해 제조된 수직형 프로브 모듈
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수직형 프로브 모듈에 있어서,프로브 고정 부재 위에 부착된 복수의 홀을 가진 상부 플레이트;서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되며 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치를 기반으로 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재가 이동함에 따라 복수의 프로브 핀의 헤드 각각이 가이드되어 상기 상부 플레이트의 복수의 홀에 고정되도록 조립되는 복수의 프로브 핀;상기 상부 플레이트에 고정된 상기 복수의 프로브 핀의 반대쪽 팁이 통과되도록 복수의 홀을 포함하는 가이드 필름;상기 가이드 필름 상에 적층되는 상부 플레이트를 포함하는 수직형 프로브 모듈;
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제7항에 있어서,상기 프로브 고정 부재는 아세톤 및 에탄올을 포함한 용해제를 이용하여 상기 상부 플레이트로부터 제거되는 수직형 프로브 모듈;
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수직형 프로브 모듈을 제조하는 방법에 있어서,서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되는 가이드 부재를 복수의 홀을 가진 상부 플레이트 상에 설치하는 제1 단계;상기 상부 플레이트의 복수의 홀 중 하나에 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 교차점을 위치시키는 제2 단계;상기 복수의 홀 중 하나 및 상기 교차점을 따라 프로브 핀을 가이드시켜 상기 상부 플레이트의 홀에 삽입하여 고정하는 제3 단계;상부 플레이트의 복수의 홀 중 비어 있는 홀의 위치에 따라 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 교차점을 이동시키는 제4 단계;상기 상부 플레이트의 복수의 홀에 복수의 프로브 핀의 헤드가 모두 고정될 때까지 상기 제3 단계 및 상기 제4 단계를 반복하는 제5단계;상기 제5 단계 완료 후 상부 플레이트에 고정된 복수의 프로브 핀의 팁이 통과되도록 복수의 홀을 갖는 가이드 필름을 덮는 제6 단계; 및상기 가이드 필름 위에 상부 플레이트를 덮는 제7 단계를 포함하는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법
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수직형 프로브 모듈을 제조하는 장치에 있어서,서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재를 포함하고,상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 수직형 프로브 모듈을 제조하는 과정에서 상부 플레이트 상에 고정되어 설치되고,상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 서로 직교하여 이동할 수 있도록 가이드 홈 및 가이드 레일을 포함하고, 상기 상부 플레이트에 포함된 복수의 홀의 간격을 따라 이동하도록 형성되며,상기 제1 축부재 및 상기 제2 축 부재의 양 끝단에는 상기 상부 플레이트 상에 고정될 수 있는 지지 부재가 설치되는 수직형 프로브 모듈 제조 장치
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