맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

웨이퍼 상에 댐을 형성하는 장치

  • 기술번호 : KST2019030378
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 웨이퍼 상에 댐을 형성하는 장치는, 댐의 재료인 수지를 저장하고 일정량의 수지를 제공하는 수지 주입기, 수지 주입기로부터 제공받은 수지를 웨이퍼 상에 댐의 형상으로 압착시킬 수 있도록 패턴이 형성되어 있으며, 원하는 댐의 형상에 따라 교체 가능한 노즐, 노즐을 웨이퍼 상으로 이동시키기 위해 X축, Y축 및 Z축을 따라 이동시키는 이동 수단, 수지가 주입된 노즐을 웨이퍼 상에 압착하는 스탬퍼 및 수지의 제공량, 노즐의 이동 및 스탬퍼의 압착력을 제어하는 제어부를 포함한다.
Int. CL H01L 23/495 (2006.01.01) H01L 21/768 (2006.01.01) H01L 23/28 (2006.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01)
CPC H01L 23/49531(2013.01) H01L 23/49531(2013.01) H01L 23/49531(2013.01) H01L 23/49531(2013.01) H01L 23/49531(2013.01)
출원번호/일자 1020160013125 (2016.02.02)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1758651-0000 (2017.07.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170717) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.02.02)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종형 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 고현준 대한민국 서울특별시 중랑구
3 임승용 대한민국 서울특별시 동대문구
4 장동휘 대한민국 인천광역시 부평구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 윤귀상 대한민국 서울특별시 금천구 디지털로*길 ** ***호 (가산동, 한신IT타워*차)(디앤특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 서울특별시 노원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0113965-06
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.12.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0023707-59
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0111532-85
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.04.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0365960-01
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2017-0365959-54
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0453333-27
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼 레벨 패키지의 균일한 접합이 이루어지도록 웨이퍼 상에 댐(dam)을 형성하는 장치로서,상기 댐의 재료인 수지를 저장하고 저장된 수지를 제공하는 수지 주입기;상기 수지 주입기로부터 제공받은 수지를 상기 웨이퍼 상에 댐의 형상으로 압착시킬 수 있도록 패턴이 형성되어 있으며, 웨이퍼의 휨 및 깨짐 현상을 방지하기 위해 설정된 구속 조건 하에서 댐의 형상에 따라 웨이퍼의 온도 편차 및 휨 변형량을 획득하여 댐을 설계하는 유한 요소 해석을 통해 도출된 댐의 형상에 따라 교체 가능한 노즐;상기 노즐을 상기 웨이퍼 상으로 이동시키기 위해 X축, Y축 및 Z축을 따라 이동시키는 이동 수단;상기 수지가 주입된 노즐을 상기 웨이퍼 상에 압착하는 스탬퍼; 및상기 수지의 제공량, 상기 노즐의 이동 및 상기 스탬퍼의 압착력을 제어하는 제어부를 포함하는 웨이퍼 상에 댐을 형성하는 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 노즐로 주입된 수지가 퍼지는 경로를 형성하며 상기 댐의 형상을 결정하는 상기 노즐에 형성된 가이드 라인은 트라이앵글 패턴, 라운딩 패턴 및 직선 패턴 중 하나인 웨이퍼 상에 댐을 형성하는 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 수지 주입기는 상기 제어부의 제어 신호에 따라 수지를 상기 노즐로 유입시키는 웨이퍼 상에 댐을 형성하는 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 이동 수단은 상기 제어부의 제어 신호에 따라 상기 노즐을 이동시키는 웨이퍼 상에 댐을 형성하는 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 수지 주입기와 상기 스탬퍼는 유체 연통되어 있으며, 상기 노즐은 상기 스탬퍼에 탈부착될 수 있는 웨이퍼 상에 댐을 형성하는 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 재영솔루텍(주) 제조기반산업원천기술개발사업 두께 3.5mm 이하급 이미지센서-경통 일체형 화상통화용 카메라 모듈의 융합 생산기반 기술 개발