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모재에 박막이 형성된 기판으로부터 측정된 음파를 이용하여, 전자계산기를 통해서 모재와 박막의 접착강도를 측정하는 방법으로서, 상기 전자계산기가,부착강도를 측정하고자 하는 제1 박막 및 모재의 두께, 밀도, 종파 속도 및 횡파 속도를 제1 입력값으로 입력받는 단계;상기 제1 입력값으로부터, 상기 제1 박막과 상기 모재 사이에 가상으로 설정된 제2 박막의 두께 및 밀도를 계산하여 제2 입력값으로 설정하는 단계;상기 제2 박막의 강성 계수(stiffness constant)를 변경시켜가며, 상기 강성 계수에 따른 상기 제2 박막의 종파 속도 및 횡파 속도를 계산하여 제3 입력값으로 설정하는 단계;상기 제1 내지 제3 입력값들을 이용하여 상기 제1 박막, 상기 제2 박막 및 상기 모재 사이의 전달행렬을 획득하는 단계; 상기 전달행렬을 이용하여 표면파 속도의 분산곡선을 생성하는 단계; 및상기 제1 박막이 형성된 모재로부터 측정된 표면파의 진행속도를 상기 분산곡선에 대입함으로써, 상기 측정된 표면파의 진행속도와 매칭되는 강성 계수를 획득하여 상기 모재와 박막의 접착 강도를 측정하는 단계;를 포함하고,상기 제2 박막의 강성 계수(stiffness constant)를 변경시켜가며, 상기 강성 계수에 따른 상기 제2 박막의 종파 속도 및 횡파 속도를 계산하여 제3 입력값으로 설정하는 단계는,의 관계식(CL, Cs는 각각 종파 및 횡파의 음파속도, KN, KT는 각각 수직(normal) 강성 계수, 접선(tangential) 강성 계수이고, di는 제2 박막의 두께, ρi는 제2 박막의 밀도임)을 통해서 계산되는 것을 특징으로 하는, 표면파 분산특성을 이용한 박막의 접착강도 측정방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 입력값으로부터, 상기 제1 박막과 상기 모재 사이에 가상으로 설정된 제2 박막의 두께 및 밀도를 계산하여 제2 입력값으로 설정하는 단계에서,상기 제2 박막의 두께는, 상기 제1 박막의 두께의 3~5%의 범위로 설정되고,상기 제2 박막의 밀도는, 상기 제1 박막과 하부의 모재 중에서 최저 밀도를 갖는 재질의 10~12%의 범위로 설정되는 것을 특징으로 하는, 표면파 분산특성을 이용한 박막의 접착강도 측정방법
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제1 항에 있어서,상기 전달행렬을 이용하여 표면파 속도의 분산특성을 계산하는 단계는,상기 전달행렬의 특성 방정식이 0인 조건을 통해서 계산되는 것을 특징으로 하는, 표면파 분산특성을 이용한 박막의 접착강도 측정방법
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모재에 박막이 형성된 기판으로부터 측정된 음파를 이용하여, 전자계산기를 통해서 모재와 박막의 접착강도를 측정하는 방법으로서, 상기 전자계산기가,부착강도를 측정하고자 하는 제1 박막 및 모재의 두께, 밀도, 종파 속도 및 횡파 속도를 제1 입력값으로 입력받는 단계;상기 제1 입력값으로부터, 상기 제1 박막과 상기 모재 사이에 가상으로 설정된 제2 박막의 두께 및 밀도를 계산하여 제2 입력값으로 설정하는 단계;상기 제1 박막이 형성된 모재로부터 측정된 표면파의 진행속도를 입력받는 단계;상기 제1 입력값, 상기 제2 입력값 및 상기 표면파의 진행속도를 이용하여 상기 제1 박막, 상기 제2 박막 및 상기 모재 사이의 전달행렬을 획득하는 단계;상기 전달행렬을 이용하여 상기 제2 박막에서 음파의 종파 속도 및 횡파 속도를 계산하는 단계; 및상기 제2 박막에서의 음파의 종파 속도 및 횡파 속도를 이용하여 상기 제2 박막의 강성계수(stiffness constant)를 획득하고, 상기 제2 박막의 상기 강성계수를 통해서 상기 모재와 상기 제1 박막의 접착 강도를 추출하는 단계;를 포함하고,상기 제2 박막에서의 음파의 종파 속도 및 횡파 속도를 이용하여 상기 제2 박막의 강성계수(stiffness constant)를 획득하고, 상기 제2 박막의 상기 강성계수를 통해서 상기 모재와 상기 제1 박막의 접착 강도를 측정하는 단계는,의 관계식(CL, Cs는 각각 종파 및 횡파의 음파속도, KN, KT는 각각 수직(normal) 강성 계수, 접선(tangential) 강성 계수이고, di는 제2 박막의 두께, ρi는 제2 박막의 밀도임)을 통해서 계산되는 것을 특징으로 하는, 표면파 분산특성을 이용한 박막의 접착강도 측정방법
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제5 항에 있어서,상기 제1 입력값으로부터, 상기 제1 박막과 상기 모재 사이에 가상으로 설정된 제2 박막의 두께 및 밀도를 계산하여 제2 입력값으로 설정하는 단계에서,상기 제2 박막의 두께는, 상기 제1 박막의 두께의 3~5%의 범위로 설정되고,상기 제2 박막의 밀도는, 상기 제1 박막과 하부의 모재 중에서 최저 밀도를 갖는 재질의 10~12%의 범위로 설정되는 것을 특징으로 하는, 표면파 분산특성을 이용한 박막의 접착강도 측정방법
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제5 항에 있어서,상기 전달행렬을 이용하여 상기 제2 박막에서 음파의 종파 속도 및 횡파 속도를 계산하는 단계는,상기 전달행렬의 특성 방정식이 0인 조건을 통해서 계산되는 것을 특징으로 하는, 표면파 분산특성을 이용한 박막의 접착강도 측정방법
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제1 항 내지 제3항 및 제5항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 의한, 표면파 분산특성을 이용한 박막의 접착강도 측정방법의 프로그램이 기록된 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체
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