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용액성장용 도가니 및 도가니 내의 용액성장 방법

  • 기술번호 : KST2019030646
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 도가니 및 도가니에서의 용액성장 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 도가니 성분과 반응하여 단일성분 또는 화합물 단결정을 성장시키기 위한 도가니에 있어서, 상기 도가니 내에는 단일성분의 융액 또는 화합물을 구성하는 일부 성분의 융액이 수용되며, 상기 융액은 상기 도가니의 내벽과 반응하도록 하되, 상기 도가니의 내벽은 거칠기가 부여되는 것을 특징으로 하는 용액성장용 도가니를 제공한다.이상과 같은 본 발명에 따르면, 도가니의 내표면에 거칠기를 부여함으로써 매끈한 내표면의 도가니에 비하여 용해속도를 높여서 단일성분 또는 화합물 단결정의 성장속도를 제고할 수 있으며, 또한 도가니의 내표면에 거칠기를 부여하는 대신, 또는 거칠기 부여와 동시에 도가니의 내부에 표면 거칠기를 갖는 도가니와 동일성분의 블록을 장입하고 단결정을 성장시킴으로써 단결정의 성장과정에서 발생되는 도가니의 빠른 침식효과를 블록의 침식에 의해 분산시켜 도가니의 급속한 붕괴를 예방하는 작용효과가 기대된다.
Int. CL C30B 19/00 (2006.01.01) C30B 29/36 (2006.01.01) H01L 21/22 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC C30B 19/00(2013.01) C30B 19/00(2013.01) C30B 19/00(2013.01) C30B 19/00(2013.01) C30B 19/00(2013.01) C30B 19/00(2013.01) C30B 19/00(2013.01)
출원번호/일자 1020150168515 (2015.11.30)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1733698-0000 (2017.04.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20170508) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.30)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서원선 대한민국 서울특별시 강남구
2 정성민 대한민국 경상남도 진주시 모
3 이명현 대한민국 경기도 수원시 영통구
4 김영희 대한민국 서울특별시 서대문구
5 윤지영 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-1166589-51
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2015-1198944-51
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.06.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0582145-08
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2016-0102071-61
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.10.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0990056-00
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2016-0990029-77
8 등록결정서
Decision to grant		 2017.02.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0095982-30
9 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2018.11.27 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2018-1184358-47
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번호 청구항
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단일성분 또는 화합물 결정을 용액내에서 성장시키는 도가니를 이용한 용액성장법에 있어서,상기 도가니의 내부에 상기 도가니와 동일성분으로서, 상기 도가니의 내벽보다 거친표면을 갖는 블록을 수용하는 단계;상기 도가니에 상기 단일성분 또는 화합물 중 일부 성분의 융액을 수용하는 단계;상기 융액과 도가니의 내벽 및 상기 블록이 반응하도록 유도하여 단일성분 또는 화합물 결정을 성장시키는 단계;를 포함하여 구성되되,상기 블록은 도가니의 하면에 안착되도록 하며,상기 도가니의 내벽은 거칠기가 부여되고, 그 거칠기는 10 ~ 30㎛의 표면조도를 가지며,상기 도가니의 내부에는 도가니와 동일성분의 블록이 수용되고, 상기 블록은 그 표면에 거칠기가 부여되며, 그 거칠기는 10 ~ 30㎛의 표면조도를 갖고,상기 융액이 상기 도가니의 내벽에 비하여 상기 블록과 더 활발하게 반응하는 것을 특징으로 하는 도가니 내의 용액성장방법
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제14항에 있어서,상기 화합물 결정 중 단결정은 SiC 단결정이며, 상기 도가니는 흑연도가니이고, 상기 화합물의 일부 성분의 융액은 Si 융액이며, 상기 블록은 흑연 블록인 것을 특징으로 하는 도가니 내의 용액성장방법
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