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대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 및 장치
- 기술번호 : KST2019030655
- 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-6124-6930
| 요약 | 본 발명은 탄화규소의 성장 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 챔버에 도가니를 안치하고, 상기 도가니의 하부에 탄화규소 분말을 장입하며, 상부에 탄화규소 단결정 시드를 고정하는 단계; 상기 챔버를 가열하여 탄화규소 분말을 기화하는 단계; 상기 기화된 탄화규소 분말이 도가니 상부에 고정된 시드에서부터 탄화규소 단결정으로 성장되는 단계;를 포함하여 구성되되, 상기 도가니의 중간부 직경은 상기 성장되는 탄화규소의 직경에 대응하는 크기를 가지며, 상기 도가니는 상기 챔버에 안치될 수 있는 도가니 중 중간부 직경이 가장 큰 최외곽 도가니로부터 그 도가니 내부에 중간부 직경이 작아지는 방향으로 순차적으로 안착되는 복수의 도가니 중 하나인 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법을 제공한다. |
|---|---|
| Int. CL | C30B 23/00 (2006.01.01) C30B 29/34 (2006.01.01) C30B 35/00 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) |
| CPC | C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) C30B 23/002(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020160025356 (2016.03.02) |
| 출원인 | 한국세라믹기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1760030-0000 (2017.07.14) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20170801) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2016.03.02) |
| 심사청구항수 | 15 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국세라믹기술원 | 대한민국 | 경상남도 진주시 소호로 *** |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이명현 | 대한민국 | 경상남도 진주시 소호로 **, |
| 2 | 김영희 | 대한민국 | 서울특별시 서대문구 |
| 3 | 정성민 | 대한민국 | 경기도 광명시 하안로 ***, |
| 4 | 서원선 | 대한민국 | 서울특별시 용산구 |
| 5 | 권용진 | 대한민국 | 서울시 서초구 |
| 6 | 정은진 | 대한민국 | 서울특별시 광진구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인 수 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국세라믹기술원 | 경상남도 진주시 소호로 *** |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2016.03.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0205408-77 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2016.10.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2016.12.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2016-0165976-75 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2016.12.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0902734-08 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2017.02.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0152664-51 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2017.02.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2017-0152731-12 |
| 7 | 등록결정서 Decision to grant |
2017.06.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0452318-74 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법에 있어서,챔버에 도가니를 안치하고, 상기 도가니의 하부에 탄화규소 분말을 장입하며, 상부에 탄화규소 단결정 시드를 고정하는 단계;상기 챔버를 가열하여 탄화규소 분말을 기화하는 단계;상기 기화된 탄화규소 분말이 도가니 상부에 고정된 시드에서부터 탄화규소단결정으로 성장되는 단계;를 포함하여 구성되되,상기 도가니의 중간부 직경은 상기 성장되는 탄화규소의 직경에 대응하는 크기를 가지며, 상기 도가니는 상기 챔버에 안치될 수 있는 도가니 중 중간부 직경이 가장 큰 최외곽 도가니로부터 그 도가니 내부에 중간부 직경이 작아지는 방향으로 순차적으로 안착되는 복수의 도가니 중 하나인 것이며,상기 최외곽 도가니의 상단과 내부에 안착되는 도가니의 상단의 높이 차이는 적어도 10mm이며,분위기 가스에 의해 형성되는 성장압력은 100Pa 초과 ~ 1000Pa 미만인 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 2 |
2 제1항에 있어서,상기 복수의 도가니는 상호 착탈 가능하게 안착되는 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 3 |
3 제1항에 있어서,상기 복수의 도가니는 흑연재질인 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 4 |
4 제1항에 있어서,상기 복수의 도가니는 그 하부가 서로 접하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 5 |
5 제1항에 있어서,상기 복수의 도가니 중 가장 작은 직경의 도가니는 그 중간부 직경이 적어도 72 ~ 85mm인 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 6 |
6 제1항에 있어서,상기 복수의 도가니 중 하나의 도가니와 그에 인접하는 도가니의 측면부 사이에는 측면 부재가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 7 |
7 제6항에 있어서, 상기 측면 부재는 흑연 부재인 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 8 |
8 삭제 |
| 9 |
9 제1항에 있어서,상기 최외곽 도가니 내부에 안착되는 내부 도가니는 높이가 70 ~ 125mm이며, 도가니의 측면과 측면 사이에 마련되는 측면 부재는 상기 내부 도가니의 높이와 동일하게 제작되는 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 10 |
10 제1항에 있어서,상기 탄화규소 단결정의 성장을 위한 분위기는 아르곤 또는 아르곤/질소 혼합분위기인 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 11 |
11 삭제 |
| 12 |
12 제1항에 있어서,상기 도가니의 상부와 하부의 온도차는 1 ~ 10℃/cm인 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 13 |
13 제12항에 있어서,상기 도가니의 하부에서 가열초기에서부터 성장완료시기에 이르는 과정에서 온도 변동 폭은 1 ~ 10℃/hr인 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 14 |
14 제1항에 있어서,상기 가열을 위한 가열수단은 상기 챔버의 내주면을 따라서 형성되며, 상기 도가니를 중심으로 상하 방향으로 슬라이드 이동 가능한 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 15 |
15 제1항에 있어서,상기 복수의 도가니 중 어느 하나의 도가니에 대하여 상부, 하부에 단열재가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 16 |
16 제15항에 있어서,상기 상부, 하부에 단열재가 마련되는 도가니는 그 측부에 단열재가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 17 |
17 제16항에 있어서,상기 측부 마련된 단열재는 상기 도가니의 측부 및 상기 상부 및 하부에 마련된 단열재의 측부를 감싸도록 구성되는 것을 특징으로 하는 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 |
| 18 |
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| 20 |
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| 21 |
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| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 산업통상자원부 | 한국세라믹기술 | 정책연구사업 | 단결정 성장용 Low N2-SiC 분말 제조 및 적용기술 개발 |
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1760030-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20160302 출원 번호 : 1020160025356 공고 연월일 : 20170801 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20170628 청구범위의 항수 : 15 유별 : C30B 23/00 발명의 명칭 : 대구경 탄화규소 단결정 성장 장치로부터 소구경 탄화규소 단결정을 성장시키는 방법 및 장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 315,000 원 | 2017년 07월 17일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 185,000 원 | 2020년 06월 30일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2016.03.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0205408-77 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2016.10.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2016.12.12 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-6-2016-0165976-75 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2016.12.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0902734-08 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2017.02.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0152664-51 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2017.02.14 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2017-0152731-12 |
| 7 | 등록결정서 | 2017.06.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0452318-74 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1415145416 |
|---|---|
| 세부과제번호 | KICET2015 |
| 연구과제명 | 한국세라믹기술원출연 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 산업통상자원부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2015 |
| 연구기간 | 201401~201412 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
| 과제고유번호 | 1415145416 |
|---|---|
| 세부과제번호 | KICET2015 |
| 연구과제명 | 한국세라믹기술원출연 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 산업통상자원부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2015 |
| 연구기간 | 201401~201412 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
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