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니켈, 망간 및 구리의 금속을 포함하는 유기금속화합물 전구체 용액을 유기 용매에 혼합하여 혼합용액을 준비하는 단계;기판 상에 상기 금속 중 적어도 어느 하나의 금속을 포함하는 금속층을 형성하는 단계;상기 금속층을 산소 분위기에서 예비 열처리하여 산화물 시드층으로 변화시키는 단계;상기 혼합용액을 이용하여 액상 공정으로 상기 산화물 시드층 상에 유기금속화합물층을 형성하는 단계; 및상기 유기금속화합물층을 산화 분위기에서 후속 열처리하여 스피넬(Spinel) 결정 구조로 이루어지는 산화물 메인층으로 변화하는 단계를 포함하고,상기 산화물 메인층으로 변화하는 단계에서 상기 산화물 시드층은 상기 산화물 메인층을 이루는 스피넬 결정 구조를 형성하기 위한 결정 핵을 제공하고,상기 산화물 메인층은 하기 화학식1 및 화학식2의 화합물 조성을 가지며, 0
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청구항 1에 있어서,상기 유기금속화합물은 산화니켈 유기화합물, 산화망간 유기화합물 및 산화구리 유기화합물 중 적어도 어느 하나를 포함하는 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속층은 물리적 기상 증착법으로 증착되는 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 산화물 메인층은 금속유기화합물 분해법으로 형성되는 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 후속 열처리는 330℃ 내지 430℃의 온도 범위에서 수행되는 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 예비 열처리는 상기 후속 열처리의 온도보다 낮은 온도에서 수행되는 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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기판 상에 제공되고, 니켈, 망간, 구리 중에서 적어도 하나의 금속의 산화물로 이루어진 산화물 시드층; 및 상기 산화물 시드층 상에 제공되고, 니켈, 망간, 구리를 포함하는 스피넬(Spinel) 결정 구조의 산화물 메인층을 포함하고,상기 산화물 시드층은 상기 금속으로 이루어진 금속층이 산소 분위기에서 수행되는 예비 열처리에 의해 산화되어 형성되고, 상기 산화물 메인층을 이루는 스피넬 결정 구조를 형성하기 위한 결정 핵을 제공하며,상기 산화물 메인층은 하기 화학식1 및 화학식2의 화합물 조성을 가지고, 0
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청구항 8에 있어서,상기 산화물 시드층의 두께는 5nm 이상 10nm 이하인 볼로미터용 저항 박막
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청구항 8에 있어서,상기 산화물 메인층의 두께는 30nm 이상 100nm 이하인 볼로미터용 저항 박막
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청구항 8에 있어서,상기 볼로미터용 저항 박막의 저항온도계수는 -1
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청구항 8에 있어서,상기 볼로미터용 저항 박막은 상온에서 비저항 값이 100Ω·cm 이하인 볼로미터용 저항 박막
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신호처리 회로가 형성된 기판을 제공하는 단계;상기 기판 상부면에 이격 형성되어, 상기 신호처리 회로의 전기신호를 전달하는 복수의 금속패드를 형성하는 단계;상기 기판 상에 유기물 희생층을 형성하는 단계;상기 유기물 희생층 상에 제1항 내지 제6항 중의 어느 한 항의 제조방법으로 볼로미터용 저항 박막을 형성하는 단계; 및상기 유기물 희생층 및 상기 저항 박막을 패턴화하는 단계를 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 16에 있어서,일측이 상기 금속패드와 연결되고 타측이 상기 저항 박막과 연결되는 지지기둥을 형성하는 단계를 더 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 16에 있어서,상기 유기물 희생층을 제거하는 단계를 더 포함하는 볼로미터 제조방법
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