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볼로미터용 저항 박막 제조방법 및 볼로미터 제조방법

  • 기술번호 : KST2019030666
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 볼로미터용 저항 박막 제조방법은 니켈, 망간, 구리 중 적어도 어느 하나의 금속을 포함하는 유기금속화합물 전구체 용액을 유기 용매에 혼합하여 혼합용액을 준비하는 단계; 상기 혼합용액을 이용하여 액상 공정으로 기판 상에 유기금속화합물층을 형성하는 단계; 상기 유기금속화합물층을 플라즈마 처리하는 단계; 및 플라즈마 처리를 수행하고, 상기 유기금속화합물층을 산화 분위기에서 후속 열처리하여 산화물 저항 박막으로 변화하는 단계를 포함할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 볼로미터용 저항 박막 제조방법에 의하면 낮은 비저항과 높은 온도계수를 갖는 볼로미터용 저항 박막과 서미스터 볼로미터가 가능하게 된다.
Int. CL B05D 3/14 (2006.01.01) B05D 1/00 (2006.01.01) B05D 7/14 (2006.01.01) C09D 1/00 (2006.01.01) G01J 5/08 (2006.01.01)
CPC B05D 3/147(2013.01) B05D 3/147(2013.01) B05D 3/147(2013.01) B05D 3/147(2013.01) B05D 3/147(2013.01) B05D 3/147(2013.01)
출원번호/일자 1020160059671 (2016.05.16)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1802504-0000 (2017.11.22)
공개번호/일자 10-2017-0128945 (2017.11.24) 문서열기
공고번호/일자 (20171128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.16)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조정호 대한민국 경기도 수원시 장안구
2 정영훈 대한민국 경상남도 진주시 초북로 **, ***
3 윤지선 대한민국 경상남도 진주시 충의로 **, *
4 전창준 대한민국 광주광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)
2 안준형 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0466059-34
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.05.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0338871-59
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.06.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0546360-62
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2017-0546359-15
5 등록결정서
Decision to grant		 2017.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0806012-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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니켈, 망간, 구리 중 적어도 어느 하나의 금속을 포함하는 유기금속화합물 전구체 용액을 유기 용매에 혼합하여 혼합용액을 준비하는 단계;상기 혼합용액을 이용하여 액상 공정으로 기판 상에 유기금속화합물층을 형성하는 단계; 상기 유기금속화합물층을 플라즈마 처리하는 단계; 및플라즈마 처리된 상기 유기금속화합물층을 산화 분위기에서 후속 열처리하는 단계를 포함하고,상기 플라즈마 처리하는 단계에서는 상기 유기금속화합물층에 결정 핵이 형성되고,상기 후속 열처리하는 단계에서는 상기 결정 핵이 성장하여 상기 유기금속화합물층이 스피넬(Spinel) 결정 구조로 이루어지는 산화물 저항 박막으로 변화되며,상기 산화물 저항 박막은 (Ni,Mn,Cu)3O4의 조성을 가지고, 0
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 플라즈마 처리 단계 이전에, 상기 유기금속화합물층을 예비 열처리하는 단계를 더 포함하는 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 후속 열처리는 330℃ 내지 430℃의 온도 범위에서 수행되는 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 산화물 저항 박막의 결정립 크기는 10nm 내지 70nm인 볼로미터용 저항 박막 제조방법
6 6
삭제
7 7
청구항 1에 있어서,상기 산화물 저항 박막의 두께는 30nm 이상 100nm 이하인 볼로미터용 저항 박막 제조방법
8 8
삭제
9 9
청구항 1에 있어서,상기 산화물 저항 박막은 하기 화학식 1의 화합물 조성을 갖는 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 산화물 저항 박막은 하기 화학식 2의 화합물 조성을 갖는 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 산화물 저항 박막의 저항온도계수는 -1
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청구항 1에 있어서,상기 산화물 저항 박막은 상온에서 비저항 값이 100Ω·cm 이하인 볼로미터용 저항 박막 제조방법
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신호처리 회로가 형성된 기판을 제공하는 단계;상기 기판 상부면에 이격 형성되어, 상기 신호처리 회로의 전기신호를 전달하는 복수의 금속패드를 형성하는 단계;상기 기판 상에 유기물 희생층을 형성하는 단계;상기 유기물 희생층 상에 제1항, 제3항 내지 제5항, 제7항, 및 제9항 내지 제12항 중의 어느 한 항의 제조방법으로 볼로미터용 저항 박막을 형성하는 단계; 및상기 유기물 희생층 및 상기 저항 박막을 패턴화하는 단계를 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 13에 있어서,일측이 상기 금속패드와 연결되고 타측이 상기 저항 박막과 연결되는 지지기둥을 형성하는 단계를 더 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 13에 있어서,상기 유기물 희생층을 제거하는 단계를 더 포함하는 볼로미터 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국세라믹기술원 산업핵심기술개발사업 액상공정을 이용한 열변화형 세라믹 박막 및 저온 진공 게터 기술 개발