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알루미나 75∼93중량%; 실리카 7∼25중량%; 상기 알루미나 및 상기 실리카의 전체 함량 100중량부에 대하여 카본계 물질 0
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삭제
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3
제1항에 있어서, 상기 Fe·Co계 산화물은 화학 성분으로 Fe2O3, Co3O4 및 Mn계 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척용 복합체
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제1항에 있어서, 상기 Fe·Co계 산화물은 화학 성분으로 Fe2O3 24∼34중량%, Co3O4 10∼18중량% 및 Mn계 화합물 50∼64중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척용 복합체
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제1항에 있어서, 상기 알루미나 및 상기 실리카의 전체 함량 100중량부에 대하여 프릿(Frit) 0
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알루미나 75∼93중량%; 실리카 7∼25중량%; 및상기 알루미나 및 상기 실리카의 전체 함량 100중량부에 대하여 카본계 물질 0
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7
(a) 알루미나 분말 75∼93중량% 및 실리카 분말 7∼25중량%를 혼합하여 제1 슬러리를 형성하는 단계;(b) 상기 제1 슬러리를 건조하여 알루미나-실리카 분말을 형성하는 단계;(c) 상기 알루미나-실리카 분말에 카본계 물질을 혼합하여 제2 슬러리를 형성하는 단계;(d) 상기 제2 슬러리를 건조하여 복합분말을 형성하는 단계;(e) 상기 복합분말을 성형하는 단계; 및(f) 성형된 결과물을 소결하는 단계를 포함하며,상기 (a) 단계에서 상기 알루미나 분말 및 상기 실리카 분말의 전체 함량 100중량부에 대하여 Fe·Co계 산화물 0
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8
삭제
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9
제7항에 있어서, 상기 Fe·Co계 산화물은 화학 성분으로 Fe2O3, Co3O4 및 Mn계 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척용 복합체의 제조방법
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10
제7항에 있어서, 상기 Fe·Co계 산화물은 화학 성분으로 Fe2O3 24∼34중량%, Co3O4 10∼18중량% 및 Mn계 화합물 50∼64중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척용 복합체의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 (c) 단계에서 상기 알루미나-실리카 분말 100중량부에 대하여 프릿(Frit) 0
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12
(a) 알루미나 분말 75∼93중량% 및 실리카 분말 7∼25중량%를 혼합하여 제1 슬러리를 형성하는 단계;(b) 상기 제1 슬러리를 건조하여 알루미나-실리카 분말을 형성하는 단계;(c) 상기 알루미나-실리카 분말에 카본계 물질을 혼합하여 제2 슬러리를 형성하는 단계;(d) 상기 제2 슬러리를 건조하여 복합분말을 형성하는 단계;(e) 상기 복합분말을 성형하는 단계; 및(f) 성형된 결과물을 소결하는 단계를 포함하며,상기 (c) 단계에서 상기 알루미나-실리카 분말 100중량부에 대하여 상기 카본계 물질 0
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13
제7항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 분산제와 결합제를 더 혼합하고, 상기 분산제는 상기 알루미나 분말 및 상기 실리카 분말의 전체 함량 100중량부에 대하여 0
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14
제13항에 있어서, 상기 분산제는 폴리카르복실레이트 암모늄(polycarboxylate ammonium)을 포함하고, 상기 결합제는 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol)을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공척용 복합체의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 소결은 환원소성로에서 질소 또는 아르곤 가스를 공급하여 1200∼1600℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 진공척용 복합체의 제조방법
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