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기판 상에 제공되고, 니켈, 망간 및 구리를 함유하는 (Ni,Mn,Cu)3O4계 모체에 크롬이 첨가된 [(Ni,Mn,Cr)Cu]3O4 조성의 산화물층을 포함하고, 상기 산화물층은 입방정 스피넬(Cubic spinel) 결정 구조를 갖는 저항 박막
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청구항 1에 있어서,상기 기판 및 산화물층 사이에 니켈, 망간, 구리 및 크롬 중 적어도 어느 하나의 금속의 산화물로 이루어진 산화물 시드층을 더 포함하는 저항 박막
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청구항 1에 있어서,상기 산화물층은 하기 화학식 1의 화합물 조성을 갖는 저항 박막
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청구항 2에 있어서,상기 산화물 시드층의 두께는 5nm 내지 20nm인 저항 박막
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청구항 2에 있어서,상기 산화물 시드층의 니켈, 망간, 구리 및 크롬 중 적어도 어느 한 금속의 단위부피당 함량은 상기 산화물층에 포함된 동일한 종류의 금속의 단위부피당 함량보다 더 많은 저항 박막
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청구항 1에 있어서,상기 저항 박막은 상온에서의 비저항이 5Ω·cm 이하이고, 저항온도계수 절대값이 1%/K 이상인 저항 박막
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니켈, 망간, 구리 및 크롬을 포함하는 전구체 용액을 유기 용매에 혼합하여 혼합용액을 준비하는 단계;기판 상에 니켈, 망간, 구리 및 크롬 중 적어도 어느 하나의 금속을 포함하는 금속층을 물리적 기상 증착법으로 형성하는 단계;상기 혼합용액을 이용하여 금속 유기 분해법으로 상기 금속층 상에 유기금속화합물 메인층을 형성하는 단계; 및상기 유기금속화합물 메인층을 산화 분위기 및 330℃ 내지 430℃의 온도 범위에서 후속 열처리하여 산화물 메인층으로 변화하는 단계를 포함하고,상기 산화물 메인층은 니켈, 망간 및 구리를 함유하는 (Ni,Mn,Cu)3O4계 모체에 크롬이 첨가된 [(Ni,Mn,Cr)Cu]3O4 조성을 가지며, 입방정 스피넬(Cubic spinel) 결정 구조를 갖는 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 전구체 용액은 산화니켈, 산화망간, 산화구리 및 산화크롬을 포함하는 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 금속층을 형성하는 단계에서,상기 금속층을 5nm 내지 20nm의 두께로 형성하는 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 유기금속화합물 메인층을 형성하는 단계 이전에, 상기 금속층을 상기 후속 열처리보다 낮은 온도에서 예비 열처리하여 산화물 시드층으로 변화하는 단계를 더 포함하는 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 산화물 메인층은 하기 화학식 1의 화합물 조성을 갖는 저항 박막 제조방법
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신호처리 회로가 형성된 기판을 제공하는 단계;상기 기판 상부면에 이격 형성되어, 상기 신호처리 회로의 전기신호를 전달하는 복수의 금속패드를 형성하는 단계;상기 기판 상에 유기물 희생층을 형성하는 단계;상기 유기물 희생층 상에 제7 항 내지 제8 항, 제11 항, 제13항 내지 제14항 중의 어느 한 항의 제조방법으로 저항 박막을 형성하는 단계; 및상기 유기물 희생층 및 상기 저항 박막을 패턴화하는 단계를 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 15에 있어서,일측이 상기 금속패드와 연결되고 타측이 상기 저항 박막과 연결되는 지지부재를 형성하는 단계를 더 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 15에 있어서,상기 유기물 희생층을 제거하는 단계를 더 포함하는 볼로미터 제조방법
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