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기판 상에 제공되고, 니켈, 망간, 구리 및 크롬 중에서 선택된 적어도 어느 하나의 금속의 산화물로 이루어진 산화물 시드층; 및상기 산화물 시드층 상에 제공되고, 니켈, 망간 및 구리를 함유하는 (Ni,Mn,Cu)3O4계 모체에 크롬이 첨가된 [(Ni,Mn,Cr)Cu]3O4 조성을 가지는 산화물 메인층을 포함하고,상기 산화물 시드층과 산화물 메인층은 서로 교번하여 복수회 적층되는 저항 박막
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청구항 1에 있어서,각각의 상기 산화물 메인층은 입방정 스피넬(Cubic spinel) 결정 구조로 이루어지고, 하기 화학식 1의 화합물 조성을 갖는 저항 박막
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청구항 1에 있어서,각각의 상기 산화물 시드층의 두께는 5nm 내지 20nm인 저항 박막
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청구항 1에 있어서,상기 산화물 시드층의 니켈, 망간, 구리 및 크롬 중 적어도 어느 한 금속의 단위부피당 함량은 상기 산화물 메인층에 포함된 동일한 종류의 금속의 단위부피당 함량보다 더 많은 저항 박막
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청구항 1에 있어서,상기 저항 박막은 상온에서의 비저항이 5Ω·cm 이하인 저항 박막
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니켈, 망간, 구리 및 크롬을 포함하는 전구체 용액을 유기 용매에 혼합하여 혼합용액을 준비하는 단계;기판 상에 니켈, 망간, 구리 및 크롬 중에서 선택된 적어도 어느 하나의 금속을 포함하는 금속층을 형성한 후 예비 열처리하여 산화물 시드층으로 변화하는 단계; 및상기 혼합용액을 이용하여 액상 공정으로 상기 산화물 시드층 상에 유기금속화합물층을 형성하는 단계를 포함하며,상기 산화물 시드층으로 변화하는 단계와 상기 유기금속화합물층을 형성하는 단계는 교대로 복수회 반복 수행되고,복수의 상기 유기금속화합물층을 산화 분위기에서 후속 열처리하여 산화물 메인층으로 변화하는 단계를 더 포함하며,상기 산화물 메인층은 니켈, 망간 및 구리를 함유하는 (Ni,Mn,Cu)3O4계 모체에 크롬이 첨가된 [(Ni,Mn,Cr)Cu]3O4 조성을 갖는 저항 박막 제조방법
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청구항 6에 있어서,상기 후속 열처리는 300℃ 내지 400℃의 온도 범위에서 수행되는 저항 박막 제조방법
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청구항 6에 있어서,상기 예비 열처리는 상기 후속 열처리보다 낮은 온도에서 수행되는 저항 박막 제조방법
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10
청구항 6에 있어서,각각의 상기 유기금속화합물층은 금속 유기 분해법으로 형성되는 저항 박막 제조방법
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청구항 6에 있어서,각각의 상기 금속층은 물리적 기상 증착법으로 형성되는 저항 박막 제조방법
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12
신호처리 회로가 형성된 기판을 제공하는 단계;상기 기판 상부면에 이격 형성되어, 상기 신호처리 회로의 전기신호를 전달하는 복수의 금속패드를 형성하는 단계;상기 기판 상에 유기물 희생층을 형성하는 단계;상기 유기물 희생층 상에 제6 항, 제8 항 내지 제11 항 중의 어느 한 항의 제조방법으로 저항 박막을 형성하는 단계; 및상기 유기물 희생층 및 상기 저항 박막을 패턴화하는 단계를 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 12에 있어서,일측이 상기 금속패드와 연결되고 타측이 상기 저항 박막과 연결되는 지지부재를 형성하는 단계를 더 포함하는 볼로미터 제조방법
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청구항 12에 있어서,상기 유기물 희생층을 제거하는 단계를 더 포함하는 볼로미터 제조방법
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