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베이스 기판 상에 서로 이격되어 배치된 다수의 압전 유닛들을 포함하되,상기 압전 유닛들 각각은상기 베이스 기판 상에 배치되는 베이스 기재 상에 제1 방향으로 서로 마주하도록 이격되어 배치되고 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장된 한 쌍의 압전 소자들; 및한 쌍의 압전 소자들 각각과 연결되어 압전 소자들 상에 배치되고 상기 압전 소자들의 변형에 의해서 진동하는 플렉시블 필름을 포함하고,상기 압전 소자들 각각은 제1 압전층, 상기 제1 압전층의 양면에 각각 배치된 하부 전극 및 대향 전극을 포함하며,상기 하부 전극 및 대향 전극 각각은 상기 제2 방향으로 연장된 연결 전극 및 상기 연결 전극으로부터 상기 제1 방향으로 분기된 다수의 서브 전극들로 구성된 전극 패턴을 한 쌍으로 구비되고, 상기 하부 전극 및 대향 전극 각각에서의 한 쌍의 전극 패턴들은 서로 맞물리도록(interdigitated) 배치된 것을 특징으로 하는,압전 트랜스듀서
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제1항에 있어서,압전 소자들 각각은제2 압전층; 및상기 하부 전극과 동일한 구조를 갖는 중간 전극을 더 포함하고,상기 중간 전극과 상기 제2 압전층이 적어도 1회 번갈아 반복되어 상기 제1 압전층과 상기 대향 전극 사이에 배치된 것을 특징으로 하는,압전 트랜스듀서
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3
제1항에 있어서,상기 압전 소자들에 전기신호가 인가되어 압전 소자들이 변형되고,상기 변형에 의해서 상기 플렉시블 필름이 진동하는 것을 특징으로 하는,압전 트랜스듀서
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| 4 |
4
베이스 기판 상에 서로 이격되어 배치된 다수의 압전 유닛들을 포함하되,상기 압전 유닛들 각각은상기 베이스 기판 상에 배치되는 베이스 기재 상에 제1 방향으로 서로 마주하도록 이격되어 배치되고 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장된 한 쌍의 압전 소자들; 및한 쌍의 압전 소자들 각각과 연결되어 압전 소자들 상에 배치되고 상기 압전 소자들의 변형에 의해서 진동하는 플렉시블 필름을 포함하고,상기 압전 소자들 각각은 압전층, 상기 압전층의 양면에 각각 배치된 하부 전극 및 대향 전극을 포함하며,상기 압전 소자들의 상기 제1 방향의 너비(w)에 대한 상기 제2 방향으로의 연장 길이(L)의 종횡비(L/w)는 10 이상인 것을 특징으로 하는,압전 트랜스듀서
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5
제4항에 있어서,상기 압전 소자들에 전기신호가 인가되어 압전 소자들이 변형되고,상기 변형에 의해서 상기 플렉시블 필름이 진동하는 것을 특징으로 하는,압전 트랜스듀서
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6
제4항에 있어서,상기 베이스 기재는 상기 베이스 기판 상에 배치된 평탄부와 상기 평탄부의 표면에 돌출되어 배치된 한 쌍의 돌출부를 포함하고,한 쌍의 돌출부 각각의 상부에 압전 소자가 일대일대응이 되도록 배치된 것을 특징으로 하는,압전 트랜스듀서
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7
베이스 기판 상에 서로 이격되어 배치된 다수의 압전 유닛들을 포함하되,상기 압전 유닛들 각각은상기 베이스 기판 상에 배치되는 베이스 기재 상에 제1 방향으로 서로 마주하도록 이격되어 배치되고 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장된 한 쌍의 압전 소자들;한 쌍의 압전 소자들 각각과 연결되어 압전 소자들 상에 배치되고 상기 압전 소자들의 변형에 의해서 진동하는 플렉시블 필름; 및상기 압전 소자들이 배치된 베이스 기재와 상기 플렉시블 필름 사이에 배치되어 상기 압전 소자들과 연결된 대향 전극을 포함하고,상기 압전 소자들 각각은 제1 압전층 및 상기 제1 압전층과 베이스 기재 사이에 배치된 하부 전극을 포함하고,상기 압전 소자들 각각의 하부 전극은 상기 제2 방향으로 연장된 연결 전극 및 상기 연결 전극으로부터 상기 제1 방향으로 분기된 다수의 서브 전극들로 구성된 전극 패턴을 한 쌍으로 구비되고, 상기 하부 전극 및 대향 전극 각각에서의 한 쌍의 전극 패턴들은 서로 맞물리도록(interdigitated) 배치되며,상기 대향 전극은 상기 제2 방향으로 연장된 연결 전극 및 상기 연결 전극으로부터 상기 제1 방향으로 분기된 다수의 서브 전극들로 구성된 전극 패턴을 한 쌍으로 구비하되 서로 맞물리도록 배치된 것을 특징으로 하는,압전 트랜스듀서
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8
베이스 기판 상에 서로 이격되어 배치된 다수의 압전 유닛들을 포함하되,상기 압전 유닛들 각각은상기 베이스 기판 상에 배치되는 베이스 기재 상에 제1 방향으로 서로 마주하도록 이격되어 배치되고 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 연장된 한 쌍의 압전 소자들; 및한 쌍의 압전 소자들 각각과 연결되어 압전 소자들 상에 배치되고 상기 압전 소자들의 변형에 의해서 진동하는 플렉시블 필름; 및상기 압전 소자들이 배치된 베이스 기재와 상기 플렉시블 필름 사이에 배치되고 상기 플렉시블 필름을 전체적으로 커버하도록 형성되어 상기 제1 방향의 양측단부들 각각에서 상기 압전 소자들과 연결된 대향 전극을 포함하고,상기 압전 소자들 각각은 압전층 및 상기 압전층과 베이스 기재 사이에 배치된 하부 전극을 포함하며,상기 압전 소자들의 상기 제1 방향의 너비(w)에 대한 상기 제2 방향으로의 연장 길이(L)의 종횡비(L/w)는 10 이상인 것을 특징으로 하는,압전 트랜스듀서
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9
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 압전 트랜스듀서를 포함하는, 지향성 스피커
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10
제9항에 있어서,가청 주파수 대역의 신호를 생성하는 오디오 주파수파 발진원;초음파 주파수 대역의 신호를 생성하는 캐리어파 발진원;상기 오디오 주파수파 발진원으로부터 출력된 오디오 주파수 대역의 신호를 이용하여 상기 캐리어파 발진원으로부터 출력된 초음파 주파수 대역의 캐리어파를 변조하는 변조기; 및상기 변조기로부터 출력되는 변조 신호를 증폭하는 전력 증폭기를 포함하고,상기 전력 증폭기에 의하여 증폭된 변조 신호에 의해서 압전 트랜스듀서가 구동되는 것을 특징으로 하는,지향성 스피커
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