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복수의 산화 금속 유기화합물과 온도가 변하는 경우에도 원자가 상태를 유지하는 첨가제를 제1 유기용매에 각각 용해시켜 복수의 예비 전구체 용액 및 첨가제 용액을 준비하는 과정;상기 복수의 예비 전구체 용액 및 첨가제 용액을 혼합하여 혼합용액을 제조하는 과정;상기 혼합용액을 상기 제1 유기용매와 상이한 제2 유기용매로 희석하여 전구체 용액을 제조하는 과정;기판 상에 상기 전구체 용액을 이용하여 액상 공정으로 전구체층을 형성하는 과정; 및상기 전구체층을 산화 분위기에서 후속 열처리하여 산화물층으로 변화하는 과정을 포함하는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 산화물층은 (Ni,Mn,Cu)3O4계 모체 및 상기 모체에 첨가되며, 온도가 변하는 경우에도 원자가 상태를 유지하는 원소인 첨가제를 포함하며,상기 첨가제는 상기 모체의 전체 중량에 대해 8wt% 내지 12wt%의 함량으로 첨가되는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 복수의 산화 금속은 산화 니켈, 산화 망간 및 산화 구리를 포함하고,상기 첨가제의 결합원자가는 상기 망간의 결합원자가 보다 작은 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 첨가제는 붕소, 아연, 갈륨, 인듐, 마그네슘, 세슘 및 베릴륨 중 적어도 어느 하나의 원소를 포함하는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 제1 유기용매는 방향족 탄화수소계 유기용매인 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 제2 유기용매는 아세트산 에스테르계 유기용매인 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 7에 있어서,상기 후속 열처리는 300℃ 내지 400℃의 온도 범위에서 수행되는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 9에 있어서,상기 전구체층을 형성하는 과정 이전에,상기 기판 상에 상기 복수의 산화 금속 중 적어도 어느 하나의 금속을 포함하는 금속층을 형성하는 과정을 더 포함하는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 14에 있어서,상기 금속층은 물리적 기상 증착법으로 형성되는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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청구항 14에 있어서,상기 금속층을 형성한 뒤 상기 전구체층을 형성하는 과정 이전에, 상기 금속층을 상기 후속 열처리보다 낮은 온도에서 예비 열처리하여 산화물 시드층으로 변화하는 과정을 더 포함하는 볼로미터용 산화물 저항 박막 제조방법
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