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용액 공정으로 단결정을 성장시키는 내부공간을 제공하고, 상부면에 관통 형성된 개구부를 포함하는 단열펠트;상기 내부공간에 배치되고, 단결정 성장용 원료를 수용하는 도가니;열에너지를 공급하여 상기 단결정 성장용 원료를 용융시키는 가열부;상기 개구부에 삽입되어 제1 회전모터에 의해 회전하면서 양방향으로 직선 이동 가능하게 배치되고, 하단에 종자결정이 부착되는 구동축;상기 구동축에 연결되어 선택적으로 연동되며, 상기 구동축을 따라 회전하면서 양방향으로 직선 이동하여 상기 용액 공정 중에 상기 개구부를 개방 또는 폐쇄하는 개폐부재; 및상기 개폐부재의 회전을 선택적으로 멈추게 하거나, 상기 개폐부재를 상기 구동축과는 독립적으로 회전시켜 상기 개폐부재의 위치를 조절하는 개폐부재 위치조절부;를 포함하고,상기 개폐부재 위치조절부는 상기 개폐부재의 위치 조절을 통해 상기 용액 공정 중 단결정 성장 공정 동안에 상기 개구부의 폐쇄 상태를 유지시키는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 구동축은 외주면의 적어도 일부에 형성된 제1 나사산을 구비하고,상기 개폐부재는 내주면에 형성된 제2 나사산을 통해 상기 구동축에 연결되는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 개폐부재의 폭은 상기 개구부의 폭보다 큰 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 개폐부재는 상기 개폐부재의 가장자리를 따라 이격 배치된 요철부를 포함하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 6에 있어서,상기 개폐부재 위치조절부는,타단에 연결되는 제2 회전모터로부터 구동력을 전달받아 회전 또는 정지하는 로드축; 및상기 로드축의 일단에 연결되며, 상기 로드축에 연동되어 상기 로드축을 중심으로 회전 또는 정지하는 이동로드를 포함하고,상기 이동로드가 상기 요철부를 향해 회전하여 상기 요철부와 연결되면, 상기 이동로드는 상기 요철부를 시계방향 또는 반시계방향으로 밀어내어 상기 개폐부재를 회전시키거나 상기 요철부와 연결되는 위치에서 정지하여 상기 개폐부재의 회전을 멈추게 하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 7에 있어서,상기 이동로드 및 이동로드에 연결된 로드축을 상하로 이동시키는 제1 승강모터를 더 포함하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 개구부가 개방될때, 상기 단열펠트의 외부에서 개방된 상기 개구부를 통해 단결정 용융액의 온도를 비접촉식으로 측정하는 온도 센서를 더 포함하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 제1 회전모터에서 발생되는 동력을 상기 구동축에 전달하는 동력전달부를 열로부터 보호하는 열차단부재를 더 포함하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 7에 있어서,상기 요철부와 이동로드의 접촉을 감지하는 감지부를 더 포함하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 3에 있어서,상기 구동축과 상기 구동축에 연결된 개폐부재를 상승 또는 하강시키는 제2 승강모터를 더 포함하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 내부공간에서 상기 도가니와 개구부 사이의 공간에 제공되며, 상기 구동축이 이동할 수 있는 관통홀이 형성된 판상의 단열부재를 더 포함하는 단결정 용액성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 개폐부재는 흑연재질로 이루어지는 단결정 용액성장 장치
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