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전이금속 칼코겐화합물을 이용한 포토디텍터의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019030739
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전이금속 칼코겐화합물을 이용한 포토디텍터의 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 전이금속 포토디텍터의 제조 방법은 (a) 기판 상에 절연막을 형성하고, 상기 절연막 상에 섀도 마스크(shadow mask)를 배치하는 단계; (b) 상기 기판 상에 스퍼터링 공정으로 10층 이하의 전이금속 칼코겐화합물을 증착하여, 전이금속 칼코겐화합물로 형성된 광흡수층을 형성하는 단계; (c) 상기 섀도 마스크를 제거하고, 상기 광흡수층이 형성된 기판 상에 전자빔을 조사하여 결정화하는 단계; 및 (d) 상기 광흡수층 상에 제1전극 및 제2전극이 서로 이격되도록 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 31/08 (2006.01.01) H01L 31/032 (2006.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01) H01L 31/0392 (2006.01.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020170152942 (2017.11.16)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1957730-0000 (2019.03.07)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190313) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.16)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤영준 경상남도 진주시 사들로 *
2 김봉호 부산시 북구
3 구현호 경남 사천시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2017-1139378-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.05.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0068875-33
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0340796-60
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.07.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-0706134-04
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.07.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0706135-49
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2018.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0817895-36
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
 2018.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-1320227-22
9 법정기간연장승인서
 2019.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0000097-60
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0103076-56
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2019.01.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0103077-02
12 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2019.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0128560-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 기판 상에 절연막을 형성하고, 상기 절연막 상에 섀도 마스크(shadow mask)를 배치하는 단계;(b) 상기 기판 상에 스퍼터링 공정으로 10층 이하의 전이금속 칼코겐화합물을 증착하여, 전이금속 칼코겐화합물로 형성된 비정질의 광흡수층을 패터닝하는 단계;(c) 상기 섀도 마스크를 제거하고, 상기 비정질의 광흡수층이 패터닝된 기판 상에 전자빔을 조사하여 상기 비정질의 광흡수층을 결정화하는 단계; 및(d) 상기 결정화된 광흡수층 상에 섀도 마스크를 배치하고, 증발법(evaporation)으로 제1전극 및 제2전극을 서로 이격되도록 패터닝한 후, 상기 섀도 마스크를 제거하는 단계;를 포함하고,상기 스퍼터링 공정은 RF 파워 5~20W, 공정 압력 5~20mTorr에서 수행되며, 상기 전자빔 조사는 DC 파워 50~3000V에서 수행되는 것을 특징으로 하는 포토디텍터의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 제1전극 및 제2전극은 금(Au), 은(Ag), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 탄탈륨(Ta), 몰리브데늄(Mo), 텅스텐(W), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 백금(Pt) 중 1종 이상의 금속, 또는 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 중 1종 이상의 금속 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 포토디텍터의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 전이금속 칼코겐화합물에 포함되는 전이금속은 Mo, W, Sn, Zr, Ni, Ga, In, Bi, Hf, Re, Ta 및 Ti 중에서 선택되고,상기 전이금속 칼코겐화합물에 포함되는 칼코겐 원소는 S, Se 및 Te 중에서 선택되는 것을 특징으로 특징으로 하는 포토디텍터의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 스퍼터링 공정 및 전자빔 조사는 600℃ 이하의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 포토디텍터의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 스퍼터링 공정은 증착 시간 1~20분 동안 수행되고,상기 전자빔 조사는 RF 파워 50~300W, 조사 시간 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.