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베이스 기판에 그루브(groove) 패턴을 형성하는 단계;상기 그루브 패턴을 채우도록, 상기 베이스 기판을 덮는 예비 전극층을 형성하는 단계; 및상기 그루브 패턴 외부의 상기 예비 전극층을 제거하고, 상기 그루브 패턴내부에 상기 예비 전극층을 잔존시켜, 상기 그루브 패턴 내에 전극 패턴을 형성하는 단계를 포함하되,상기 전극 패턴을 형성하는 단계는,상기 예비 전극층을 열처리하는 단계;열처리된 상기 예비 전극층이 융해되는 단계;융해된 상기 예비 전극층을 냉각하는 단계; 및상기 그루브 패턴 외부의 상기 예비 전극층을 제거하고, 상기 그루브 패턴내부에 상기 예비 전극층을 잔존시키는 단계를 포함하고,상기 예비 전극층이 열처리되기 전, 상기 예비 전극층과 상기 그루브 패턴이 접촉하는 면적은, 상기 전극 패턴과 상기 그루브 패턴이 접촉하는 면적보다 작은 것을 포함하는 플렉서블 히터 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 전극 패턴은 상기 그루브 패턴을 완전히 채우고,상기 전극 패턴의 하부면으로부터 상기 전극 패턴의 상부면까지의 높이 레벨은, 적어도, 상기 그루브 패턴의 깊이 레벨 보다 높은 것을 포함하는 플렉서블 히터 제조 방법
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베이스 기판에 그루브(groove) 패턴을 형성하는 단계;상기 그루브 패턴을 채우도록, 상기 베이스 기판을 덮는 예비 전극층을 형성하는 단계; 및상기 그루브 패턴 외부의 상기 예비 전극층을 제거하고, 상기 그루브 패턴내부에 상기 예비 전극층을 잔존시켜, 상기 그루브 패턴 내에 전극 패턴을 형성하는 단계를 포함하되,상기 베이스 기판은, 상기 그루브 패턴이 형성된 제1 영역 및 상기 그루브 패턴을 제외한 제2 영역을 포함하고,상기 그루브 패턴을 형성하는 단계 이후 상기 예비 전극층을 형성하는 단계 이전, 상기 베이스 기판의 상기 제2 영역 상에 희생층을 형성하는 단계를 더 포함하는 플렉서블 히터 제조 방법
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제4 항에 있어서, 상기 예비 전극층을 제거하고, 상기 전극 패턴을 형성하는 단계는, 상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하고, 상기 예비 전극층은 상기 희생층과 함께 제거되는 것을 포함하는 플렉서블 히터 제조 방법
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제1 항 또는 제4 항에 있어서, 상기 그루브 패턴을 형성하는 단계는, 마스터 패턴을 포함하는 마스터 기판을 준비하는 단계; 및상기 마스터 기판을 상기 베이스 기판과 접촉시키되, 상기 베이스 기판 및 상기 마스터 기판 상에 압력을 가하여, 상기 베이스 기판 상에 상기 그루브 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 마스터 기판의 경도(hardness)는, 상기 베이스 기판의 경도보다 크며, 상기 베이스 기판 및 상기 마스터 기판 상에 가해지는 압력은, 상기 베이스 기판의 물질 종류에 따라 달라지는 것을 포함하는 플렉서블 히터 제조 방법
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제6 항에 있어서, 상기 베이스 기판 및 상기 마스터 기판 상에 압력이 가해진 상태 또는 상기 베이스 기판 및 상기 마스터 기판 상에 압력이 가해지기 전, 접촉된 상기 베이스 기판 및 상기 마스터 기판을 열처리하거나, 또는 접촉된 상기 베이스 기판 및 상기 마스터 기판 상에 자외선(ultraviolet)을 조사하는 단계를 포함하는 플렉서블 히터 제조 방법
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