1 |
1
레이저의 여기 표면파를 생성하기 위한 다수의 슬릿을 포함하는 사용되는 슬릿 마스크에 있어서, 레이저가 통과하는 홀(hole)이 중앙부에 위치하는 외부 가림막; 상기 홀의 일부분을 덮고, 상기 홀 상에서 슬라이딩 이동하는 적어도 하나의 내부 가림막; 및상기 적어도 하나의 내부 가림막의 슬라이딩 이동을 가이드하는 적어도 하나의 가이드 부재 C;를 포함하되,상기 내부 가림막은 접부채 형식으로 상호 연결된 복수의 내부 가림 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
제1항에 있어서, 상기 복수의 내부 가림 부재 각각의 일단에는 핀(pin)이 형성되고, 상기 가이드 부재 C는 상기 핀에 의해 상기 복수의 내부 가림 부재와 연결되는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
4 |
4
제3항에 있어서, 상기 가이드 부재 C는 중앙부에 가이드 홀이 형성되고, 상기 복수의 내부 가림 부재에 형성된 핀이 상기 가이드 홀로 끼워지고, 상기 적어도 일부의 내부 가림 부재에 형성된 핀은 상기 가이드 홀에서 이동 가능한 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
5 |
5
삭제
|
6 |
6
제1항에 있어서, 상기 외부 가림막은, 제1 외부 가림막; 상기 제1 외부 가림막과 이격되어 위치하는 제2 외부 가림막; 상기 제1 외부 가림막의 일단과 상기 제2 외부 가림막의 일단을 연결하는 제3 외부 가림막; 및 상기 제1 외부 가림막의 타단과 상기 제2 외부 가림막의 타단을 연결하는 제4 외부 가림막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
7 |
7
제6항에 있어서, 상기 제1 외부 가림막과 상기 제2 외부 가림막은 선 형태 또는 호 형태로 이동 가능하며, 상기 제3 외부 가림막과 상기 제4 외부 가림막은 슬라이딩 이동 가능한 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
8 |
8
제7항에 있어서, 상기 제3 외부 가림막은 접부채 형식으로 상호 연결된 복수의 제1 외부 가림 부재를 포함하고, 상기 제4 외부 가림막은 접부채 형식으로 상호 연결된 복수의 제2 외부 가림 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
9 |
9
제8항에 있어서, 상기 제3 외부 가림막의 슬라이딩 이동을 가이드하는 가이드 부재 A; 및 상기 제4 외부 가림막의 슬라이딩 이동을 가이드하는 가이드 부재 B;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
10 |
10
제9항에 있어서, 상기 복수의 제1 외부 가림 부재 및 상기 복수의 제2 외부 가림 부재 각각의 일단에는 핀(pin)이 형성되고, 상기 가이드 부재 A는 상기 복수의 제1 외부 가림 부재에 형성된 핀에 의해 상기 복수의 제1 외부 가림 부재와 연결되고, 상기 가이드 부재 B는 상기 복수의 제2 외부 가림 부재에 형성된 핀에 의해 상기 복수의 제2 외부 가림 부재와 연결되는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
11 |
11
제10항에 있어서, 상기 가이드 부재 A 및 상기 가이드 부재 B 각각은 중앙부에 가이드 홀이 형성되고, 상기 복수의 제1 외부 가림 부재에 형성된 핀이 상기 가이드 부재 A의 가이드 홀로 끼워지고, 상기 복수의 제1 외부 가림 부재에 형성된 핀은 상기 가이드 부재 A의 가이드 홀에서 이동 가능하며, 상기 복수의 제2 외부 가림 부재에 형성된 핀이 상기 가이드 부재 B의 가이드 홀로 끼워지고, 상기 복수의 제2 외부 가림 부재에 형성된 핀은 상기 가이드 부재 B의 가이드 홀에서 이동 가능한 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
12 |
12
제9항에 있어서, 상기 가이드 부재 A, 상기 가이드 부재 B 및 상기 적어도 하나의 가이드 부재 C는 구부러질 수 있는 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
13 |
13
제12항에 있어서, 상기 슬릿은 상기 제1 외부 가림막의 위치, 상기 제2 외부 가림막의 위치, 상기 제3 외부 가림막의 위치, 상기 제4 외부 가림막의 위치, 상기 적어도 하나의 내부 가림막의 위치, 상기 제3 외부 가림막의 접히는 정도, 상기 제4 외부 가림막의 접히는 정도, 상기 내부 가림막의 접히는 정도, 및 상기 가이드 부재 A, 상기 가이드 부재 B, 상기 적어도 하나의 가이드 부재 C 각각의 구부러짐 정도 중 적어도 하나를 이용하여 설정되는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
|
14 |
14
삭제
|