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레이저의 여기 표면파를 생성하기 위한 다수의 슬릿을 포함하는 슬릿 마스크에 있어서, 중앙에 홀(hole)이 존재하는 가림막; 및상기 홀 상에 위치하며, 주입물이 주입되어 부피가 변경되는 적어도 하나의 탄성 튜브;를 포함하되, 상기 탄성 튜브는 내부 탄성 튜브 및 외부 탄성 튜브를 포함하되, 상기 내부 탄성 튜브에 주입물이 주입되는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 탄성 튜브는 상기 홀 상에서 슬라이딩 이동하는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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제3항에 있어서, 상기 적어도 하나의 탄성 튜브의 슬라이딩 이동을 제어하기 위한 적어도 하나의 가이드 부재 C;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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제4항에 있어서, 상기 가이드 부재 C는 상기 내부 탄성 튜브와 상기 외부 탄성 튜브 사이에 삽입되는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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제5항에 있어서, 상기 적어도 하나의 탄성 튜브 각각은, 상기 내부 탄성 튜브의 내부면 또는 상기 외부 탄성 튜브의 외부면과 연결되며, 상기 가이드 부재 C의 이탈 방지를 위한 가이드 지지대;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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제4항에 있어서, 상기 가림막은, 제1 가림막; 상기 제1 가림막과 이격되어 위치하는 제2 가림막; 상기 제1 가림막의 일단과 상기 제2 가림막의 일단을 연결하는 제3 가림막; 및 상기 제1 가림막의 타단과 상기 제2 가림막의 타단을 연결하는 제4 가림막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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제7항에 있어서, 상기 제1 가림막과 상기 제2 가림막은 선 형태 또는 호 형태로 이동 가능하며, 상기 제3 가림막과 상기 제4 가림막은 슬라이딩 이동 가능하며, 상기 제3 가림막과 상기 제4 가림막의 재질은 탄성 소재인 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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제8항에 있어서, 상기 제3 가림막의 슬라이딩 이동을 제어하기 위한 가이드 부재 A; 및 상기 제4 가림막의 슬라이딩 이동을 제어하기 위한 가이드 부재 B;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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제9항에 있어서, 상기 가이드 부재 A, 상기 가이드 부재 B 및 상기 적어도 하나의 가이드 부재 C는 구부러질 수 있는 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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제10항에 있어서, 상기 슬릿은 상기 제1 가림막의 위치, 상기 제2 가림막의 위치, 상기 제3 가림막의 위치, 상기 제4 가림막의 위치, 상기 적어도 하나의 탄성 튜브의 위치, 상기 적어도 하나의 탄성 튜브의 부피, 및 상기 가이드 부재 A, 상기 가이드 부재 B, 상기 적어도 하나의 가이드 부재 C 각각의 구부러짐 정도 중 적어도 하나를 이용하여 설정되는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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레이저의 여기 표면파를 생성하기 위한 다수의 슬릿을 포함하는 슬릿 마스크에 있어서, 제1 가림막; 상기 제1 가림막과 이격되어 위치하는 제2 가림막; 상기 제1 가림막의 일단과 상기 제2 가림막의 일단을 연결하는 제3 가림막; 상기 제1 가림막의 타단과 상기 제2 가림막의 타단을 연결하는 제4 가림막; 및상기 제1 가림막 내지 상기 제4 가림막에 의해 설정되는 홀 상에 위치하며, 주입물이 주입되어 부피가 변경되는 적어도 하나의 탄성 튜브;를 포함하되, 상기 탄성 튜브는 내부 탄성 튜브 및 외부 탄성 튜브를 포함하되, 상기 내부 탄성 튜브에 주입물이 주입되는 것을 특징으로 하는 슬릿 마스크
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