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기판;상기 기판 상에 배치되며, 연료와 산화제가 흐르도록 복수개의 확산 채널들을 갖는 제1 채널층 및 상기 제1 채널층 상부에 배치되는 산화제 주입 채널을 갖는 제2 채널층을 포함하는 마이크로 채널; 및상기 마이크로 채널을 덮도록 상기 기판 상부에 배치되며, 상기 마이크로 채널로 산화제 및 연료가 주입되는 산화제 주입구 및 연료 주입구가 형성된 커버부;를 구비하는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 산화제 주입구는 상기 제2 채널층의 상기 산화제 주입 채널과 연통되는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 연료 주입구는 상기 제1 채널층의 상기 복수개의 확산 채널들과 연통되는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 제1 채널층은 일단부가 상기 연료 주입구와 직접 연통되고 타단부가 분기되어 상기 복수개의 확산 채널들과 연결되는 연료 주입 채널을 더 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지
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제4항에 있어서,상기 산화제 주입 채널은 상기 연료 주입 채널과 적어도 일부가 중첩되는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 커버부는 상기 연료와 상기 산화제 간의 산화 환원 반응에 의해 발생되는 물질을 배출하는 배출구를 더 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지
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제6항에 있어서,상기 배출구는 제1 배출구 및 제2 배출구를 포함하고, 상기 복수개의 확산 채널들의 일단부는 상기 산화제 주입구 또는 상기 연료 주입구와 연통되며, 타단부는 상기 제1 배출구 또는 상기 제2 배출구와 연통되는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 기판은 제1 방향을 따라 연장되는 복수개의 제1 전극들 및 제2 전극들을 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지
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제8항에 있어서,상기 복수개의 확산 채널들은 상기 복수개의 제1 전극들 및 제2 전극들과 적어도 일부가 중첩되는, 마이크로 유체 연료 전지
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제8항에 있어서,상기 기판은 상기 복수개의 제1 전극들 및 제2 전극들과 각각 연결되는 전극 패드를 더 포함하는, 마이크로 유체 연료 전지
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제1항에 있어서,상기 산화제 주입 채널은 일단부가 상기 산화제 주입구와 연통되고 타단부가 분기되어 상기 복수개의 확산 채널들과 연통되는, 마이크로 유체 연료 전지
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다수의 리프트 오프(lift-off) 공정을 통해 기판 상에 제1 방향을 따라 연장되는 복수개의 제1 전극들 및 제2 전극들을 형성하는, 기판 제작 단계;연료와 산화제가 흐르도록 복수개의 확산 채널들 및 상기 복수개의 확산 채널들의 일단부와 연결되는 연료 주입 채널을 형성하는, 제1 채널층 제작 단계;상기 제1 채널층 상에 산화제 주입 채널을 형성하는, 제2 채널층 제작 단계; 및몰딩(molding) 방법 및 펀칭(punching) 방법에 의해 상기 마이크로 채널로 산화제 및 연료가 주입되는 산화제 주입구 및 연료 주입구와, 상기 연료와 상기 산화제 간의 산화 환원 반응에 의해 발생되는 물질을 배출하는 배출구가 형성된, 커버부 제작 단계;를 포함하는, 마이크로 유체 연료 전극의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 제1 채널층을 형성하는 단계에서, 상기 연료 주입 채널은 일단부가 상기 연료 주입구와 직접 연통되고 타단부가 분기되어 상기 복수개의 확산 채널들과 연결되는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조방법
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제13항에 있어서,상기 산화제 주입 채널은 상기 연료 주입 채널과 적어도 일부가 중첩되는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 복수개의 확산 채널들의 일단부는 상기 산화제 주입구 또는 상기 연료 주입구와 연통되며, 타단부는 상기 배출구와 연통되는, 마이크로 유체 연료 전지의 제조방법
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