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측정 대상물이 놓이는 지지부;상기 측정 대상물의 원주면을 측정하여 측정 신호를 생성하는 적어도 3개 이상의 프로브들을 포함하는 측정부;상기 지지부와 상기 측정부 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 상기 측정 대상물의 중심을 축으로 상대 회전시키는 회전부; 및상기 적어도 3개 이상의 프로브 각각에서 수신되는 측정 신호들을 합산하여 합성 신호를 생성하고, 상기 합성 신호에서 상기 상대 회전 운동에서 발생하는 구동 오차 신호와 상기 측정 대상물의 형상 오차 신호를 제거하는 연산부를 포함하되,상기 적어도 3개 이상의 프로브들은 상기 측정 대상물의 중심을 기준으로 사이각이 0도 보다 크고 180도 보다 작은 지점에 위치하고,상기 적어도 3개 이상의 프로브 중 어느 하나의 프로브와 다른 하나의 프로브에 대한 사이각과, 상기 어느 하나의 프로브와 또 다른 하나의 프로브에 대한 사이각의 비는 기약 분수로 나타나는 원형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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제 1 항에 있어서,상기 적어도 3개 이상의 프로브들은 상기 측정 대상물의 중심을 기준으로 서로 마주하지 않는 지점에 각각 배치되는 대상물의 표면 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 연산부는 상기 합성 신호에서 상기 구동 오차 신호가 제거된 신호를 푸리에 변환하여 고조파 성분이 선형 결합된 신호를 얻고,상기 회전부가 표본 추출 각도(Δ)를 기 설정된 신호 수신 횟수(N)만큼 회전하였을 때의 총 측정 범위 각도를 T로 정의하고,상기 총 측정 범위 각도(T)와 상기 어느 하나의 프로브와 상기 다른 하나의 프로브에 대한 사이각의 비율을 기약분수(aα/bα)로 정의하고,상기 총 측정 범위 각도(T)와 상기 어느 하나의 프로브와 상기 또 다른 하나의 프로브에 대한 사이각의 비율을 (aβ/bβ)로 정의할 경우,상기 고조파 성분 중 파장이 가장 짧은 고조파의 파장(λmin)에 대한 파장이 가장 긴 고조파의 파장(λmax) 의 비율(λmax / λmin) 이 상기 bα와 bβ 의 최소공배수에서 1을 제외한 값{LCM(bα, bβ)-1}과 1회전에 대한 총 측정 범위 각도(T)의 비율(rT=T°/360°)의 곱보다 작은 값을 가지는 원형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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측정 대상물이 놓이는 지지부;상기 측정 대상물의 원주면을 측정하여 측정 신호를 생성하는 적어도 3개 이상의 프로브들을 포함하는 측정부; 및상기 지지부와 상기 측정부 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 상기 측정 대상물의 중심을 축으로 상대 회전시키는 회전부를 포함하되,상기 적어도 3개 이상의 프로브는,상기 측정 대상물의 하부를 측정하는 제1 내지 제3 프로브;상기 측정 대상물의 상부를 측정하는 제4 내지 제6 프로브; 및상기 측정 대상물의 일 상단에 배열되어, 상기 측정 대상물의 상단을 측정하는, 제7 및 제8 프로브를 포함하며,상기 제7 프로브는 상기 측정 대상물의 회전 축과 동일 직선 상에 위치되고, 상기 제8 프로브는 상기 제7 프로브와 동일한 높이에 위치하는 원형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정장치
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측정 대상물이 놓인 지지부 및 적어도 3개 이상의 프로브를 포함하는 측정부를 포함하되, 상기 지지부와 상기 측정부 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 상대 회전 운동 시키는 단계; 상기 상대 회전 동안 상기 적어도 3개 이상의 프로브에서 상기 측정 대상물의 원주면을 측정하여 측정 신호들을 생성하는 단계;상기 측정 신호들을 합산하여 합성 신호를 생성하는 단계; 상기 합성 신호에서 상기 상대 회전 운동에서 발생하는 구동 오차 신호를 제거하는 단계; 및상기 구동 오차 신호가 제거된 상기 합성 신호에서 상기 측정 대상물의 형상 오차 신호를 제거하는 단계를 포함하되,상기 적어도 3개 이상의 프로브들은 상기 측정 대상물의 중심을 기준으로 사이각이 0도 보다 크고 180도 보다 작은 지점에 위치하고,상기 적어도 3개 이상의 프로브 중 어느 하나의 프로브와 다른 하나의 프로브에 대한 사이각과, 상기 어느 하나의 프로브와 또 다른 하나의 프로브에 대한 사이각의 비는 기약 분수로 나타나는 원형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정방법
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제 9항에 있어서,상기 구동 오차 신호가 제거된 상기 합성 신호에서 측정 대상물의 형상 오차 신호를 제거하는 단계는, 상기 합성 신호에서 상기 구동 오차 신호가 제거된 신호를 푸리에 변환하여 고조파 성분이 선형 결합된 신호를 얻고,상기 측정 대상물을 표본 추출 각도(Δ)로 기 설정된 횟수(N)만큼 회전하였을 때의 총 측정 범위 각도를 T로 정의하고,상기 총 측정 범위 각도(T)와 상기 어느 하나의 프로브와 상기 다른 하나의 프로브에 대한 사이각의 비율을 기약분수(aα/bα)로 정의하고,상기 총 측정 범위 각도(T)와 상기 어느 하나의 프로브와 상기 또 다른 하나의 프로브에 대한 사이각의 비율을 기약분수(aβ/bβ)로 정의할 경우,상기 고조파 성분 중 파장이 가장 짧은 고조파의 파장(λmin)에 대한 파장이 가장 긴 고조파의 파장(λmax) 의 비율(λmax / λmin) 이 상기 bα와 bβ 의 최소공배수에서 1을 제외한 값{LCM(bα, bβ)-1}과 1회전에 대한 총 측정 범위 각도(T)의 비율(rT=T°/360°)의 곱보다 작은 값을 가지는 원형 단면 형상을 갖는 대상물의 표면 측정방법
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