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복수의 레이어(layer)를 포함하는 검사 대상의 단층 영상(tomography)을 촬영하는 장치에 있어서,입력 신호인 전자기파를 상기 검사 대상에 방사하고, 상기 전자기파가 상기 복수의 레이어에서 반사되어 형성되는 반사파를 취득 신호로서 수집하는 감지부; 및상기 단층 영상 촬영 장치의 각 부를 제어하고, 상기 취득 신호에 기초하여 상기 검사 대상의 단층 영상을 생성하는 제어부; 를 포함하고,상기 제어부는,상기 입력 신호 및 상기 취득 신호에 기초하여 상기 복수의 레이어 중 제1레이어의 시스템 모델(system model)을 추정하되, 상기 시스템 모델은 상기 제1레이어에서의 반사에 의해 상기 입력 신호가 상기 취득 신호로 변화되는 신호 처리 과정을 모델링한 것이며,상기 추정된 시스템 모델 및 상기 입력 신호에 기초하여 상기 제1레이어에 의한 제1반사파 신호를 추정하고,상기 취득 신호에서 상기 추정된 제1반사파 신호를 제거하여 상기 제1레이어의 하부에 위치한 제2레이어에 의한 제2반사파 신호를 산출하고,상기 산출된 제2반사파 신호에 기초하여 상기 제2레이어의 단층 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 단층 영상 촬영 장치
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제1항에 있어서,상기 취득 신호에서 상기 입력 신호가 상기 제1레이어에 반사됨으로써 형성되는 양의 피크(peak) 값이 검출된 시간에서 기 설정된 시간 갭(time gap)을 차감한 제1시작 시간과,상기 취득 신호에서 상기 입력 신호가 상기 제2레이어에 반사됨으로써 형성되는 양의 피크값이 검출된 시간에서 상기 시간 갭을 차감한 제2시작 시간에 대하여,상기 제어부는,상기 시스템 모델을 추정할 때,상기 제1시작 시간과 상기 제2시작 시간 사이의 상기 시스템 모델은 상기 제1시작 시간과 상기 제2시작 시간 사이의 상기 취득 신호에 기초하여 추정하고,상기 제2시작 시간 이후의 상기 시스템 모델은 상기 제1시작 시간과 상기 제2시작 시간 사이의 상기 시스템 모델과 동일한 것으로 가정하는 것을 특징으로 하는 단층 영상 촬영 장치
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제2항에 있어서,상기 시간 갭은,상기 입력 신호에서 양의 피크값이 검출된 시간과 상기 입력 신호의 절대값이 기 설정된 최소 신호값 이상인 값이 처음으로 검출되는 시간 사이의 차이에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 단층 영상 촬영 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는 그레디언트 기반 적응 알고리즘(gradient-based adaptive algorithm)을 이용하여 상기 시스템 모델을 추정하는 것을 특징으로 하는 단층 영상 촬영 장치
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제1항에 있어서,상기 제1레이어의 시스템 모델을 추정할 때 사용하는 상기 입력 신호는,상기 검사 대상의 최상부 레이어의 표면에서 반사파가 가장 강하게 형성되는 영역에 의한 취득 신호로부터 추정된 것임을 특징으로 하는 단층 영상 촬영 장치
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제1항에 있어서,상기 입력 신호인 전자기파는 테라헤르츠파(terahertz)인 것을 특징으로 하는 단층 영상 촬영 장치
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복수의 레이어를 포함하는 검사 대상의 단층 영상 촬영 방법에 있어서,입력 신호인 전자기파를 상기 검사 대상에 방사하고, 상기 전자기파가 상기 복수의 레이어에서 반사되어 형성되는 반사파를 취득 신호로서 수집하는 단계;상기 입력 신호 및 상기 취득 신호에 기초하여 상기 복수의 레이어 중 제1레이어의 시스템 모델을 추정하는 단계, 상기 시스템 모델은 상기 제1레이어에서의 반사에 의해 상기 입력 신호가 상기 취득 신호로 변화되는 신호 처리 과정을 모델링한 것임;상기 추정된 시스템 모델 및 상기 입력 신호에 기초하여 상기 제1레이어에 의한 제1반사파 신호를 추정하는 단계;상기 취득 신호에서 상기 추정된 제1반사파 신호를 제거하여 상기 제1레이어의 하부에 위치한 제2레이어에 의한 제2반사파 신호를 산출하는 단계; 및상기 산출된 제2반사파 신호에 기초하여 상기 제2레이어의 단층 영상을 생성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 단층 영상 촬영 방법
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