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구부러짐이 가능한 고분자 합성물로 구성된 유연/신축성 기판 필름;상기 필름 위에, 탄소 기반의 전도성 나노 전자재료물질로 구성된 일정 패턴의 센싱층; 및상기 센싱층 위에, 상기 구부러짐이 가능한 고분자 합성물로 구성된 캡슐화 필름;을 포함하며, 상기 센싱층은 상기 기판 필름과 상기 캡슐화 필름의 샌드위치 구조 사이에 위치하고, 탄소 나노튜브(carbon nonotube, CNT), 그래핀(graphene, graphene nano-ribobon, graphene tubule, graphene-based nanocomposites), 그래핀 산화물(graphene oxide, reduced graphene oxide)의 탄소 기반 물질 또는 은 나노입자(Ag Nanoparticle)의 전도성 나노입자(Conductive Nanoparticle)로 구성되거나, 탄소 기반 물질과 전도성 나노입자를 혼합 또는 합성한 탄소 기반 나노 물질로 구성되고, 구부러짐에 따라 상기 기판 필름과 상기 캡슐화 필름에 작용하는 장력과 압축에 의한 민감도 저하를 방지하기 위하여, 중립점이 상기 센싱층에 위치하지 않도록 상기 기판 필름과 상기 캡슐화 필름의 두께는 서로 상이하게 하며, 상기 캡슐화 필름은 상기 샌드위치 구조 상에 소수성 물질로 표면 처리(코팅)되고, 소수성 물질은 비결정질 불소(Teflon-AF)가 사용될 수 있으며, 상기 기판 필름도 상기 소수성 물질로 표면 처리되며, 물속에서도 안정적으로 동작되는 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서
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제 1항에 있어서,상기 탄소 기반의 전도성 나노 전자재료물질은 탄소 나노튜브와 전도성 나노입자의 혼합 또는 합성물질인 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서
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제 2항에 있어서,상기 탄소 나노튜브와 상기 전도성 나노입자의 혼합 비율에 따라 상기 센싱층의 민감도가 조절되는 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서
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제 1항에 있어서,상기 기판 필름과 상기 캡슐화 필름을 구성하는 고분자 합성물은 탄성중합체인 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서
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제 2항에 있어서, 상기 센싱층의 탄소 나노튜브와 상기 전도성 나노입자가 바인딩되어 있고, 상기 센싱층에 스트레인 또는 압력이 인가되면 상기 전도성 나노입자 사이의 거리가 증가하여 전도도가 감소하는 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서
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기판에 구부러짐이 가능한 고분자 합성물로 이루어진 기판 필름을 형성하는 단계; 상기 기판 필름에, 탄소 기반의 전도성 나노 전자재료물질을 일정 패턴으로 도포하여 센싱층을 형성하며, 상기 센싱층은 상기 기판 필름과 캡슐화 필름의 샌드위치 구조 사이에 위치되고, 탄소 나노튜브(carbon nonotube, CNT), 그래핀(graphene, graphene nano-ribobon, graphene tubule, graphene-based nanocomposites), 그래핀 산화물(graphene oxide, reduced graphene oxide)의 탄소 기반 물질 또는 은 나노입자(Ag Nanoparticle)의 전도성 나노입자(Conductive Nanoparticle)로 구성되거나, 탄소 기반 물질과 전도성 나노입자를 혼합 또는 합성한 탄소 기반 나노 물질로 구성되는 단계; 및소수성 표면 처리된 구부러짐이 가능한 고분자 합성물로 이루어진 캡슐화 필름을 상기 센싱층 위에 형성하는 단계;를 포함하며, 구부러짐에 따라 상기 기판 필름과 상기 캡슐화 필름에 작용하는 장력과 압축에 의한 민감도 저하를 방지하기 위하여, 중립점이 상기 센싱층에 위치하지 않도록 상기 기판 필름과 상기 캡슐화 필름의 두께는 서로 상이하게 하며, 상기 캡슐화 필름은 상기 샌드위치 구조 상에 소수성 물질로 표면 처리(코팅)되고, 소수성 물질은 비결정질 불소(Teflon-AF)가 사용될 수 있으며, 상기 기판 필름도 상기 소수성 물질로 표면 처리되며, 물속에서도 안정적으로 동작되는 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 탄소 기반의 전도성 나노 전자재료물질은 탄소 나노튜브와 전도성 나노입자의 혼합 또는 합성물질인 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서 제조 방법
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제 9항에 있어서, 상기 센싱층을 형성하는 단계는,센싱층의 민감도에 따라 상기 탄소 나노튜브와 상기 전도성 나노입자의 혼합 비율에 결정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 기판 필름을 형성하는 단계는, 실리콘 또는 유리 기판과 상기 기판 필름 사이에 버퍼층을 형성하는 단계; 및상기 캡슐화 필름의 형성 후에 상기 기판과 상기 기판 필름을 분리하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서 제조 방법
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제 11항에 있어서, 상기 버퍼층을 생성하는 단계는,소수성 증기를 발생하는 물질인 트리클로로실란 용액으로 상기 실리콘 또는 유리 기판을 표면처리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 기판 필름을 형성하는 단계는,기포 제거를 위하여 폴리디메틸실록산(PDMS)을 진공 처리하는 단계; 상기 기판에 폴리디메틸실록산(PDMS)을 스핀-코팅을 통해 도포하는 단계; 및경화제(Base)의 농도를 조절하는 단계;어닐링 과정을 수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 센싱층을 형성하는 단계는,탄소 나노튜브와 상기 전도성 나노입자의 교반 용액을 상기 기판 필름 위에 스크린 프린팅을 통해 일정 패턴으로 도포하는 단계; 및상기 교반 용액에 포함된 용매를 제거하기 위하여 어닐링 과정을 수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 움직임 감지 센서 제조 방법
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