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유연한 소재의 다공성 나노 멤브레인; 및여과되지 않고 다공성 나노 멤브레인의 기공들에 입자들이 채워지는 형태로 다공성 나노 멤브레인에 코팅되어 건식 전극을 형성하는 전도성 물질;을 포함하며,상기 전도성 물질은진공 흡입(vacuum suction)을 통해 다공성 나노 멤브레인에 채워지는 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극
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제 1 항에 있어서,다공성 나노 멤브레인에 전도성 물질로 이루어진 분산용액이 부어지고, 진공 흡입을 통해 분산용액 내 입자들이 다공성 나노 멤브레인의 기공들에 균일하게 채워지는 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극
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제 1 항에 있어서, 상기 다공성 나노 멤브레인은섬유, 종이, 나일론 및 폴리머 중 적어도 하나로 이루어진 다공성 구조체인 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극
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제 4 항에 있어서, 상기 다공성 나노 멤브레인은필터 멤브레인(filter membrane), 섬유 다발(fiber bundle), 나노튜브 다발(nanotube bundle), 전기 방사(electro-spinning), 다공성 금속 폼(porous metal form), 폴리머 폼(polymer form), 나일론 폼(nylon form) 중 적어도 하나로 이루어진 마이크로 및 나노 스케일의 동공 구조를 갖는 다공성 물질인 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극
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제 1 항에 있어서, 상기 전도성 물질은환원 그래핀 옥사이드(reduced graphene oxide: RGO), 탄소 나노튜브(carbon nanotube: CNT), 금속 나노튜브(metal nanotube), 금속 나노와이어(metal nanowire), 금속 나노입자(metal nanoparticle), 전도성 폴리머(conductive polymer) 또는 이들 물질의 혼합을 통한 하이브리드 구조의 물질인 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극
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제 1 항에 있어서, 상기 전도성 물질은입자 크기가 다공성 나노 멤브레인의 기공 크기보다 더 작거나 같으며, 진공 흡입을 통해 다공성 나노 멤브레인의 기공들에 채워지는 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극
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제 1 항에 있어서, 상기 생체신호 측정용 건식 전극은원하는 형태의 건식 전극 형성을 위해 다공성 나노 멤브레인의 원하지 않는 부분에는 전도성 물질이 코팅되지 않도록 형성되어 전도성 물질에 부착된 이후 전극 패턴이 형성되면 제거되는 섀도우 마스크;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극
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제 8 항에 있어서, 상기 섀도우 마스크는다공성 나노 멤브레인에서 전극이 형성되지 않는 영역을 완전하게 커버하기 위하여, 탄성 또는 유연성을 가지는 소재인 PDMS, ecoflex, rubber, silicone, stainless steel film 중 적어도 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극
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전도성 물질이 마련되는 단계; 및다공성 나노 멤브레인의 기공들에 전도성 물질이 진공 흡입(vacuum suction)을 통해 채워지는 형태로 전도성 물질이 다공성 나노 멤브레인에 코팅되어 건식 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극 제조방법
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제 10 항에 있어서, 상기 건식 전극을 형성하는 단계는다공성 나노 멤브레인 상에 전도성 물질로 이루어진 분산용액이 부어지는 단계; 및진공 흡입을 통해 분산용액 내 입자들이 다공성 나노 멤브레인의 기공들에 균일하게 채워지는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극 제조방법
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제 10 항에 있어서, 상기 생체신호 측정용 건식 전극 제조방법은원하는 형태의 건식 전극 형성을 위해 다공성 나노 멤브레인의 원하지 않는 부분에는 전도성 물질이 코팅되지 않도록 하는 섀도우 마스크가 다공성 나노 멤브레인에 부착되는 단계; 및건식 전극 패턴이 형성되면 섀도우 마스크가 제거되는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극 제조방법
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제 10 항에 있어서, 상기 생체신호 측정용 건식 전극 제조방법은다공성 나노 멤브레인 소재에 영향을 주지 않는 범위 내에서 고온 건조 방식을 통해 습기를 제거하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생체신호 측정용 건식 전극 제조방법
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