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알루미늄 기판 표면의 패터닝 제어 방법

  • 기술번호 : KST2019031630
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 알루미늄 기판 표면의 패터닝 제어 방법 및 이를 이용하여 제조된 패터닝된 알루미늄 기판에 관한 것으로, 양극산화 전압 및 기공 확장 공정 시간 조절을 통해 알루미늄 기판 상에 형성되는 양극산화 알루미늄층의 기공 모양, 직경, 밀도, 깊이를 다양한 형태로 구현함으로써 다양한 구조로 패터닝된 알루미늄 기판을 제조할 수 있고, 상기 방법으로 제조된 패터닝된 알루미늄 기판은 필터, 센서, 태양전지 등 다양한 산업 분야에 이용할 수 있다.
Int. CL H01L 21/311 (2006.01.01) H01L 21/321 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC H01L 21/31111(2013.01) H01L 21/31111(2013.01) H01L 21/31111(2013.01) H01L 21/31111(2013.01) H01L 21/31111(2013.01)
출원번호/일자 1020180090571 (2018.08.03)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2054589-0000 (2019.12.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20191210) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.08.03)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정찬영 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 위병갑 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 * *층(대영빌딩)(위특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.08.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0767912-72
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.11.12 취하 (Withdrawal) 1-1-2018-1118421-45
3 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2018.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-1153252-91
4 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-1153436-95
5 [우선심사신청 취하]취하(포기)서
[Withdrawal of Request for Accelerated Examination] Request for Withdrawal (Abandonment)
2018.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-1166241-93
6 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2018.11.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2018.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0183964-97
8 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2018.11.28 수리 (Accepted) 9-1-2018-0064076-15
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0876507-64
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.01.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0056908-46
11 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2019-0134964-01
12 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2019.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0260978-53
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2019-0588915-44
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0588916-90
15 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0618390-69
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0889089-62
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.08.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0889090-19
18 등록결정서
Decision to grant
2019.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0864075-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 20-50V에서 10-50분 동안 연질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 90-110V에서 10-50초 동안 경질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
7 7
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 20-50V에서 10-50분 동안 연질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
8 8
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 20-50V에서 10-50분 동안 연질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
9 9
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 90-110V에서 10-50초 동안 경질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
10 10
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 20-50V에서 10-50분 동안 연질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
11 11
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 20-50V에서 10-50분 동안 연질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
12 12
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 90-110V에서 10-50초 동안 경질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
13 13
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 20-50V에서 10-50분 동안 연질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
14 14
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 20-50V에서 10-50분 동안 연질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
15 15
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 90-110V에서 10-50초 동안 경질 양극산화 처리하는 것을 특징으로 하는, 2차 양극산화 처리 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
16 16
제1항 및 제6항 내지 제15항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되는 표면 패터닝된 알루미늄 기판
17 17
삭제
18 18
알루미늄(aluminum) 기판을 30-50V에서 5-15시간 동안 1차 양극산화 처리하는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 1차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 에칭하여 1차 양극산화층을 제거하는 프리패터닝(prepatterning) 단계(단계 2);상기 단계 2에서 프리패터닝이 완료된 알루미늄 기판을 2차 양극산화 처리하는 단계(단계 3);상기 단계 3에서 2차 양극산화 처리된 알루미늄 기판을 0
19 19
제18항에 있어서,상기 단계 3의 2차 양극산화 및 상기 단계 5의 3차 양극산화는 각각 30-50V에서 20-40분 동안 양극산화하는 연질 양극산화(mild anodizing) 조건을 이용하여 양극산화 처리하고, 상기 단계 4의 기공 확장은 상기 단계 3의 2차 양극산화 처리를 거친 알루미늄 기판을 0
20 20
제19항에 있어서,상기 단계 3의 2차 양극산화 및 상기 단계 5의 3차 양극산화는 각각 35-45V에서 25-35분 동안 양극산화하는 연질 양극산화(mild anodizing) 조건을 이용하여 양극산화 처리하고, 상기 단계 4의 기공 확장은 상기 단계 3의 2차 양극산화 처리를 거친 알루미늄 기판을 0
21 21
제18항의 방법으로 제조되는 필라-온-포어 구조로 패터닝된 알루미늄 기판
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 동의대학교 기초연구사업 초발수 알루미늄 표면개질을 통한 부식방지 기술 연구