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피측정 장치에 대한 측정을 위한 디임베디드 캘리브레이션(de-embedded calibration) 방법은,상기 피측정 장치를 맞춤형 캘리브레이션 키트에 위치시키는 단계; 및상기 맞춤형 캘리브레이션 키트를 기반으로 상기 피측정 장치의 특성을 결정하는 단계를 포함하되,상기 맞춤형 캘리브레이션 키트는 상기 피측정 장치까지의 케이블 또는 선로에 의한 성분을 제거하기 위한 디임베디드 캘리브레이션을 위해 상기 피측정 장치의 앞 단에 위치시킨 캘리브레이션 면을 포함하고,상기 맞춤형 캘리브레이션 키트는 오픈 캘리브레이션 키트, 쇼트 캘리브레이션 키트 및 로드 캘리브레이션 키트이고,상기 오픈 캘리브레이션 키트, 상기 쇼트 캘리브레이션 키트 및 상기 로드 캘리브레이션 키트의 기판은 동일한 크기와 특성을 가지고,상기 오픈 캘리브레이션 키트, 상기 쇼트 캘리브레이션 키트 및 상기 로드 캘리브레이션 키트의 마이크로스트립 선로의 길이는 모두 동일하고,상기 오픈 캘리브레이션 키트는 상기 마이크로스트립의 선로 종단을 개방하여 구현되고,상기 쇼트 캘리브레이션 키트는 상기 마이크로스트립의 상기 선로 종단과 그라운드와 연결된 비아(via)가 만나도록 구현되고, 상기 쇼트 캘리브레이션 키트에서 전류가 상기 마이크로스트립의 선로 종단면에서 접지면인 그라운드로 수직으로 흐르고,상기 로드 캘리브레이션 키트는 상기 마이크로스트립의 상기 선로 종단과 칩 저항, 그라운드와 연결된 비아가 만나도록 구현되고, 상기 쇼트 캘리브레이션 키트는 기판 두께에 의한 상기 비아의 인덕턴스와 위상 천이를 고려한 보정을 수행하는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 맞춤형 캘리브레이션 키트는 상기 피측정 장치가 실장된 기판의 정보를 포함하여 측정하여 상기 피측정 장치를 사용할 상기 기판에서의 회로 특성을 측정하고, 상기 맞춤형 캘리브레이션 키트를 기반으로 결정된 능동 소자의 측정 데이터는 동일한 기판에 실장되어 EM 공진 회로들과 함께 EM 시뮬레이션을 수행시 실제 기판 정보를 포함한 소자의 동작 특성을 반영하는 것을 특징으로 하는 방법
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피측정 장치에 대한 측정을 위한 디임베디드 캘리브레이션(de-embedded calibration) 장치에 있어서,상기 디임베디드 캘리브레이션 장치는 맞춤형 캘리브레이션 키트를 포함하고, 상기 맞춤형 캘리브레이션 키트는 피측정 장치를 상기 맞춤형 캘리브레이션 키트에 위치시키고, 상기 맞춤형 캘리브레이션 키트를 기반으로 상기 피측정 장치의 특성을 결정하도록 구현되되,상기 맞춤형 캘리브레이션 키트는 상기 피측정 장치까지의 케이블 또는 선로에 의한 성분을 제거하기 위한 디임베디드 캘리브레이션을 위해 상기 피측정 장치의 앞 단에 위치시킨 캘리브레이션 면을 포함하고,상기 맞춤형 캘리브레이션 키트는 오픈 캘리브레이션 키트, 쇼트 캘리브레이션 키트 및 로드 캘리브레이션 키트이고,상기 오픈 캘리브레이션 키트, 상기 쇼트 캘리브레이션 키트 및 상기 로드 캘리브레이션 키트의 기판은 동일한 크기와 특성을 가지고,상기 오픈 캘리브레이션 키트, 상기 쇼트 캘리브레이션 키트 및 상기 로드 캘리브레이션 키트의 마이크로스트립 선로의 길이는 모두 동일하고,상기 오픈 캘리브레이션 키트는 상기 마이크로스트립의 선로 종단을 개방하여 구현되고,상기 쇼트 캘리브레이션 키트는 상기 마이크로스트립의 상기 선로 종단과 그라운드와 연결된 비아(via)가 만나도록 구현되고, 상기 쇼트 캘리브레이션 키트에서 전류가 상기 마이크로스트립의 선로 종단면에서 접지면인 그라운드로 수직으로 흐르고,상기 로드 캘리브레이션 키트는 상기 마이크로스트립의 상기 선로 종단과 칩 저항, 그라운드와 연결된 비아가 만나도록 구현되는 것을 특징으로 하는 디임베디드 캘리브레이션 장치
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제5항에 있어서, 상기 맞춤형 캘리브레이션 키트는 상기 피측정 장치가 실장된 기판의 정보를 포함하여 측정하여 상기 피측정 장치를 사용할 상기 기판에서의 회로 특성을 측정하고,상기 맞춤형 캘리브레이션 키트를 기반으로 결정된 능동 소자의 측정 데이터는 동일한 기판에 실장되어 EM 공진 회로들과 함께 EM 시뮬레이션을 수행시 실제 기판 정보를 포함한 소자의 동작 특성을 반영하는 것을 특징으로 하는 디임베디드 캘리브레이션 장치
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