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복수개의 벽을 구비하고, 복수개의 상기 벽에 의해 형성되는 내부공간 하부에 종자정을 수용하는 도가니본체;상기 도가니본체를 수용하는 석영관;상기 석영관의 외부에 배치되어 열을 가하는 가열수단; 및상기 도가니본체의 벽 내부에 설치되되, 상기 도가니본체에서 상기 종자정이 배치되는 영역을 둘러싸게 배치되는 다공성흑연;을 포함하되,상기 도가니본체의 벽은,상기 종자정에 대면하는 일면에서 경사지게 구비되고, 상기 종자정을 둘러싸는 유도경사부;를 포함하고,상기 유도경사부는,상기 도가니본체의 수용공간에 배치되어 상기 종자정에 대면하는 내벽;과, 상기 내벽으로부터 일정거리 이격되어 상기 도가니본체의 벽 내부에 배치되고, 상기 다공성흑연에 대면하는 외벽;을 포함하고,상기 다공성흑연은,상기 도가니본체의 벽 내부에 배치되되, 상기 유도경사부의 외벽으로부터 일정거리 이격되게 배치되는 역 승화법을 이용한 탄화규소 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,상기 도가니본체의 벽 내부에서 상기 유도경사부의 외벽과 상기 다공성흑연 간의 이격거리(D1)는,0
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제3항에 있어서,상기 다공성흑연의 두께(D2)는,상기 도가니본체의 벽 두께(D3)의 50%이상 80%이하의 범위의 값이되,상기 도가니본체의 벽 두께(D3)는,15mm이상 25mm이하의 범위의 값인 것을 특징으로 하는 역 승화법을 이용한 탄화규소 단결정 성장장치
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제4항에 있어서,상기 다공성흑연의 두께(D2)는,상기 유도경사부의 외벽과 상기 다공성흑연 간의 이격거리(D1)와, 상기 도가니본체의 벽 두께(D3)와, 상기 유도경사부의 내벽으로부터 외벽까지의 직선거리 값 중 최대 값(D4)에 의해 형성되되, D2=A(D3-D1-D4)의 수식에 의해 형성되고,상기 A값은 0
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제1항, 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가열수단은,고주파 유도 코일로 구비되고, 주파수가 8kHz이상 12kHz이하인 것을 특징으로 하는 역 승화법을 이용한 탄화규소 단결정 성장장치
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