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도가니본체;상기 도가니본체를 수용하는 석영관; 상기 석영관의 외부에 배치되어, 상기 석영관을 통하여 상기 도가니본체에 열을 가하는 제1가열유닛;상기 석영관의 내부 및 상기 도가니본체의 외부에 배치되어, 상기 도가니본체에 열을 가하는 제2가열유닛;상기 도가니본체의 외주를 감싸는 단열수단; 및 상기 석영관에 연결되고, 상기 단열수단의 외부에 배치되어 외주가 상기 단열수단의 외주와 접촉하며, 상기 도가니본체와 상기 단열수단을 지지하는 지지프레임;을 포함하되,상기 제2가열유닛은,상기 지지프레임의 내부에 배치되어, 상기 지지프레임에 수용되고, 상기 지지프레임은,상기 단열수단과 상기 제2가열유닛의 접촉을 차단하게 제공되는 탄화규소 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,상기 제2가열유닛은,상기 도가니본체의 수평온도편차를 차단하도록 상기 도가니본체의 하부에서 상기 도가니본체의 직경방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 성장장치
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제1항에 있어서,상기 지지프레임을 관통하여 구비되되, 상기 제2가열유닛에 대면하게 배치되는 온도측정용홀;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 성장장치
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7
제6항에 있어서,상기 제2가열유닛은,상기 도가니본체의 하부에 대면하는 중공부를 구비하는 고주파 유도 코일로 구비되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 성장장치
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8
제7항에 있어서,상기 제2가열유닛은,상기 도가니본체의 원주방향으로 복수회 감기게 놓이는 나선형 고주파 유도 코일로 구비되고, 상기 중공부의 직경은 20mm이상 50mm이하의 범위의 값인 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 성장장치
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9
제1항, 제2항, 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1가열유닛은,상기 제2가열유닛이 상기 도가니본체로부터 이격되는 거리보다 상기 도가니본체로부터 더 멀리 이격되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 성장장치
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10
제9항에 있어서,상기 도가니본체의 벽 두께는,15mm이상 25mm이하의 범위의 값이고,상기 제1가열유닛은,고주파 유도 코일로 구비되고, 주파수 8kHz이상 12kHz이하이며,상기 제2가열유닛은,고주파 유도 코일로 구비되고, 주파수 19kHz이상 22kHz미만인 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 성장장치
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