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스퍼터링 폐타겟을 온도가 105 내지 300℃가 되도록 가열하여 유분 및 수분을 제거하는 단계; 유분 및 수분이 제거된 스퍼터링 폐타겟을 세척액에 침지하고, 초음파 세척하는 단계; 및 스퍼터링 타겟 모재 및 배킹 플레이트가 접합된 사용후 스퍼터링 폐타겟을 연신하여 상기 스퍼터링 타겟 모재로부터 배킹 플레이트를 분리하는 단계를 포함하고, 상기 스퍼터링 타겟 모재와 배킹 플레이트는 연신률이 상이한 금속으로 된 것인, 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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제1항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟 모재와 배킹 플레이트는 연신율 차이가 5 내지 30%인 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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제1항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟 모재는 탄탈륨, 몰리브데늄, 타이타늄, 알루미늄, 니켈, 주석, 구리, 텅스텐 및 금으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 금속이거나, 또는 알루미늄-탄탈륨 합금, 알루미늄-규소 합금, 타이타늄-텅스텐 합금 및 몰리브데늄-규소 합금으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 합금인 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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제1항에 있어서, 상기 배킹 플레이트는 구리, 인듐 및 황동으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 금속인 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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제1항에 있어서, 상기 연신은 냉간압연, 열간압연 및 단조로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 방법으로 수행하는 것인 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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제1항에 있어서, 상기 연신은 1 내지 5%의 압하율로 압력을 가하여 수행하는 것인 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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제1항에 있어서, 상기 연신은 20 내지 30ton의 압연하중을 가하여 수행하는 것인 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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제1항에 있어서, 상기 배킹 플레이트를 제거한 상기 스퍼터링 타겟 모재를 산 용액으로 세정하여 상기 스퍼터링 타겟 모재에 잔류하는 배킹 플레이트 성분을 제거하는 단계를 추가로 포함하는, 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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제11항에 있어서, 상기 산 용액은 산: 증류수를 5:5 내지 8:2의 부피비로 혼합한 것인, 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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제11항에 있어서, 상기 산 용액은 상기 배킹플레이트 성분 제거 단계에 2 내지 6번 사용하는 것인 스퍼터링 폐타겟으로부터 유가금속 회수방법
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