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내부에 공동을 구비하며, 상기 공동의 하부에 액상 극저온 유체를 수용하고, 상기 공동의 상부에 기상 극저온 유체를 수용하는 제1 용기;상기 공동의 상부로부터 상기 공동의 하부를 경유하여 상기 제1 용기의 외부로 연장되며, 상기 기상 극저온 유체를 상기 제1 용기의 외부로 배출하는 제1 배관;상기 제1 용기의 외부로부터 상기 공동의 하부를 경유하여 상기 제1 용기의 외부로 연장되며, 상기 제1 용기의 외부로부터 유입된 기상 상온 유체를 이송하는 제2 배관;상기 제1 용기의 외부로부터 상기 공동의 하부로 연장되며, 상기 액상 극저온 유체를 상기 공동으로 이송하는 제3 배관; 및상기 공동의 하부로부터 상기 제1 용기의 외부로 연장되며, 상기 액상 극저온 유체를 상기 제1 용기의 외부로 배출하는 제4 배관;을 구비하고,상기 제2 배관으로 유입된 상기 기상 상온 유체는, 이송 중에 기상 극저온 유체로 변화하여 상기 제2 배관으로부터 상기 제1 용기의 외부로 배출되며, 상기 제3 배관 및 상기 제4 배관의 유량을 조절함에 따라 상기 공동의 하부에 수용된 상기 액상 극저온 유체의 액위를 조절하여, 상기 제1 배관 및 상기 제2 배관을 통해 상기 제1 용기의 외부로 배출되는 기상 극저온 유체의 온도를 제어하는, 극저온 가스 공급 장치
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제 1 항에 있어서,내부에 상기 제1 용기를 수용하며, 상기 제1 용기로부터 이격된 진공 상태의 공간을 구비하는 제2 용기;를 더 구비하는, 극저온 가스 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기상 극저온 유체 및 상기 기상 상온 유체는, 상기 액상 극저온 유체와 동일 물질을 포함하는, 극저온 가스 공급 장치
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제 3 항에 있어서,상기 액상 극저온 유체는 액체질소를 포함하는, 극저온 가스 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 공동 내에서의 상기 액상 극저온 유체의 액위가 상승하는 경우, 상기 제1 배관 및 상기 제2 배관을 통해 배출되는 기상 극저온 유체의 온도가 감소하며,상기 공동 내에서의 상기 액상 극저온 유체의 액위가 하강하는 경우, 상기 제1 배관 및 상기 제2 배관을 통해 배출되는 기상 극저온 유체의 온도가 증가하는, 극저온 가스 공급 장치
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6
제 1 항에 있어서,상기 제1 배관의 상기 공동의 하부에 위치한 부분은 나선형으로 형성된, 극저온 가스 공급 장치
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7
제 1 항에 있어서,상기 제2 배관의 상기 공동의 하부에 위치한 부분은 나선형으로 형성된, 극저온 가스 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 용기에 설치되어 상기 제1 용기 내부의 압력을 조절하는 압력 조절부;를 더 구비하는, 극저온 가스 공급 장치
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제 8 항에 있어서,상기 압력 조절부는,상기 제1 용기 내의 상기 기상 극저온 유체의 압력을 측정하는 압력 센서;상기 공동의 상부로부터 상기 제1 용기의 외부로 연장되며, 상기 기상 극저온 유체를 상기 제1 용기의 외부로 이송하는 제5 배관; 및상기 제5 배관에 설치된 밸브를 구비하는, 극저온 가스 공급 장치
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10
제 1 항에 있어서,상기 제1 용기의 외부로부터 상기 공동의 상부로 연장되며, 상기 기상 상온 유체를 상기 공동으로 이송하는, 제6 배관;을 더 구비하는, 극저온 가스 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 배관, 상기 제2 배관, 상기 제3 배관 및 상기 제4 배관 중 적어도 하나의 극저온 유체 이송량을 제어하는 제어부;를 더 구비하는, 극저온 가스 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 용기에 설치되어 상기 공동의 하부에 수용된 상기 액상 극저온 유체의 액위를 측정하는 레벨 센서;를 더 구비하는, 극저온 가스 공급 장치
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