| 1 |
1
일 측에서 전자빔이 입사되어 진행되도록 일 방향으로 연장되는 제1진공튜브;상기 제1진공튜브의 적어도 일부를 덮도록 이루어져, 상기 제1진공튜브의 내부에 자기장을 형성시키는 벤딩 마그넷;상기 벤딩 마그넷에 의해 굴절된 전자빔을 진행시키도록, 일 측이 상기 제1진공튜브로부터 기설정된 각도로 분지되어 일 방향으로 연장되는 제2진공튜브;상기 제1진공튜브의 타 측에 장착되는 제1패러데이 컵;상기 제2진공튜브의 타 측에 장착되는 제2패러데이 컵; 및상기 제1 및 제2진공튜브를 안착시키도록 형성되는 베이스부를 구비하고, 상기 제1진공튜브의 일 측을 전자빔 출력부에 착탈 가능하도록, 지면 상에서 이동 가능하고 상기 지면으로부터 상기 베이스부의 높이를 조절 가능하도록 구성되는 트롤리를 포함하는 전자빔 진단장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 제1 및 제2진공튜브 중 적어도 하나에 연결되어 상기 전자빔의 스팟 사이즈를 측정하는 스팟 사이즈 측정 유닛을 더 포함하며,상기 스팟 사이즈 측정 유닛은,상기 전자빔의 진행 경로에 삽입되는 경우 상기 전자빔의 적어도 일부를 반사시키도록 형성되는 스크린;상기 제1 또는 제2진공튜브에 장착되고, 상기 스크린을 지지하여 상기 스크린을 상기 전자빔의 진행 경로에 선택적으로 삽입시키도록 구동하는 액츄에이터; 및상기 스크린에서 반사되는 전자빔의 형상을 감지하도록 상기 제1 또는 제2진공튜브에 상기 스크린을 향해 장착되는 형상 감지기를 포함하는 전자빔 진단장치
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 제1진공튜브의 적어도 일부를 감싸도록 설치되어, 상기 전자빔에 의해 형성되는 유도 전류를 감지하여 상기 전자빔의 전류를 측정하는 전류 측정 유닛을 더 포함하며,상기 전자빔의 스팟 사이즈 및 전류와, 상기 제1 또는 제2패러데이 컵에 도달되는 전하량을 연속적으로 측정 가능한 것을 특징으로 하는 전자빔 진단장치
|
| 4 |
4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1진공튜브의 일 측과 상기 전자빔 출력부에 각각 연결되고, 신축 또는 굴절 가능하도록 형성되는 벨로즈를 더 포함하는 전자빔 진단장치
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 제1진공튜브의 적어도 일부를 감싸도록 이루어져, 상기 제1진공튜브의 일 측에서 입사되는 전자빔을 수평 이동시키기 위한 자기장을 형성시키는 스티어링 마그넷을 더 포함하는 전자빔 진단장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 제1진공튜브의 적어도 일부를 감싸도록 이루어져, 상기 전자빔의 집속을 강화시키기 위한 자기장을 형성시키는 쿼드로폴 마그넷을 더 포함하는 전자빔 진단장치
|
| 7 |
7
일 측에서 전자빔이 입사되어 진행되도록 일 방향으로 연장되는 제1진공튜브;상기 제1진공튜브에 지지되어 상기 전자빔의 진행 경로에 삽입되도록 형성되는 스크린과 상기 스크린에서 반사되는 전자빔의 형상을 감지하는 형상 감지기를 구비하는 스팟 사이즈 측정 유닛;상기 제1진공튜브의 적어도 일부를 감싸도록 이루어지고, 상기 전자빔에 의해 형성되는 유도 전류에 의해 상기 전자빔의 전류를 측정하는 전류 측정 유닛; 및상기 제1진공튜브의 타 측과 기설정된 각도로 일 측이 연통되는 제2진공튜브를 구비하고, 상기 전자빔을 자기장에 의해 굴절시켜 제2진공튜브의 타 측에 도달되는 전하량을 측정하여 상기 전자빔의 에너지를 산출하는 에너지 산출 유닛을 포함하며,상기 전자빔의 스팟 사이즈 및 전류 측정과, 상기 전자빔의 에너지 산출이 연속적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자빔 진단장치
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 제1진공튜브는,상기 제1진공튜브 내부의 수직 단면 상에서 상기 전자빔의 위치를 이동시키도록 구성되는 스티어링 마그넷을 더 포함하는 전자빔 진단장치
|
