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박막 균질도 측정장치

  • 기술번호 : KST2019032687
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 균질도 측정장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 간단한 구조 및 낮은 비용으로 증착된 기판의 특정 부분의 박막 두께를 측정하여 증착된 기판의 전체 부분의 박막 두께를 제공할 수 있는 박막 균질도 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 박막 균질도 측정장치는, 측정대상(10)에 조사되어 투과하도록 구성되는 광원을 제공하는 이동형 레이저유닛(20); 이동형 레이저유닛(20)과 일체로 이동하여 측정대상(10)을 투과한 광의 광도를 측정하는 광검출기(30); 측정대상(10)의 미리 알려진 한 점의 박막 두께의 절대값과 측정된 광도로부터 측정대상의 박막 두께를 연산하는 연산부(40)를 포함할 수 있다.
Int. CL G01N 21/59 (2006.01.01) G01N 21/39 (2006.01.01) G01N 21/84 (2006.01.01)
CPC G01N 21/59(2013.01) G01N 21/59(2013.01) G01N 21/59(2013.01)
출원번호/일자 1020160144531 (2016.11.01)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1820809-0000 (2018.01.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20180123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.11.01)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조상진 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)
2 이우영 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-1067022-87
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.05.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2017-0081577-58
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0429762-93
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.08.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-0793940-60
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.08.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0793938-78
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0796627-45
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-1253743-85
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.12.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1253742-39
10 등록결정서
Decision to Grant Registration
2018.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0011655-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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일정한 수용공간을 형성하는 고정프레임;상기 고정프레임의 상면에 제1방향을 따라 이동하도록 형성되는 이동프레임;상기 고정프레임의 상측 양측에 각각 형성되어 상기 이동프레임을 지지하고 활주 가능하도록 하는 샤프트;상기 고정프레임의 수용공간에 배치되어 측정대상에 조사되어 투과하도록 구성되는 광원을 제공하는 이동형 레이저유닛;상기 고정프레임의 상측으로 돌출 형성되어 상기 이동형 레이저유닛에 대향되게 배치되고 상기 이동형 레이저 유닛과 일체로 이동하면서 상기 측정대상을 투과한 광의 광도를 측정하는 광검출기;상기 측정대상의 미리 알려진 한 점의 박막 두께의 절대값과 측정된 광도로부터 측정대상의 박막 두께를 연산하는 연산부;상기 측정대상, 상기 광검출기, 상기 이동형 레이저유닛을 이동시키는 동력을 제공하는 전자모터;를 포함하고,상기 전자모터는 상기 측정대상을 제1방향을 따라 이동시키는 것과 상기 이동형 레이저유닛 및 광검출기를 일체로 상기 제1방향에 대해 수직인 제2방향으로 이동시키는 것 중 적어도 하나를 수행하는 것을 특징으로 하는 박막 균질도 측정장치
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청구항 1에 있어서, 상기 연산부는, 박막 증착 전 측정대상을 투과한 광의 광도, 박막 증착 후 측정대상의 어느 한 점을 투과한 광의 광도 및 그 점과는 다른 점을 투과한 광의 광도를 이용하여 상기 어느 한 점에 대한 측정대상의 모든 점의 상대적 박막 두께를 연산하고, 또한, 미리 알려진 한 점의 박막 두께의 절대값을 이용하여 측정 대상의 모든 점의 박막 두께를 연산하는 것인 박막 균질도 측정장치
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